VET Energy Coated SiC Susceptorείναι μια λύση υψηλής απόδοσης σχολαστικά κατασκευασμένη για να παρέχει αξιόπιστη, συνεπή απόδοση σε εκτεταμένη διάρκεια ζωής, ικανοποιώντας τις αυστηρές απαιτήσεις της κατασκευής ημιαγωγών. Διαθέτοντας εξαιρετική αντοχή στη θερμότητα, ανώτερη θερμική ομοιομορφία και υψηλή καθαρότητα, αυτό το προϊόν είναι ιδανικό για φορείς πλακιδίων MOCVD και άλλες εφαρμογές επεξεργασίας πλακιδίων που απαιτούν σταθερότητα και ακρίβεια. Η στιβαρή του αντοχή στη διάβρωση το καθιστά μια κορυφαία επιλογή για περιβάλλοντα όπου η ανθεκτικότητα και η χημική ανθεκτικότητα είναι απαραίτητες.
ΜαςΕπικαλυμμένο με SiC επιδεκτικό γραφίτηαποτελεί κρίσιμο συστατικό στη διαδικασία κατασκευής ημιαγωγών, αξιοποιώντας την αποκλειστική πατενταρισμένη τεχνολογία της VET Energy για την επίτευξη εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας, ανώτερης ομοιομορφίας επίστρωσης και αξιοσημείωτης θερμικής σταθερότητας. Η επίστρωση ενισχύει το υπόστρωμα γραφίτη με υψηλή χημική αντοχή και σημαντικά παρατεταμένη διάρκεια ζωής. Η αφοσίωση της VET Energy στην ποιότητα οδήγησε σε έναν επικαλυμμένο με SiC υποδοχέα που ανταποκρίνεται στις εξελισσόμενες ανάγκες της αγοράς φορέων γκοφρέτας γραφίτη, θέτοντας υψηλά πρότυπα για επικαλυμμένους με SiC υποδοχείς γραφίτη που χρησιμοποιούνται σεΔιαδικασίες MOCVD.
Βασικά χαρακτηριστικά των επικαλυμμένων με SiC Susceptors:
1. Αντίσταση στην οξείδωση σε υψηλή θερμοκρασία:Αντέχει σε θερμοκρασίες έως και 1700℃, καθιστώντας το κατάλληλο για ακραίες συνθήκες επεξεργασίας.
2. Υψηλή καθαρότητα και θερμική ομοιομορφία:Εξασφαλίζει σταθερά αποτελέσματα, ζωτικής σημασίας γιαΥποδοχείς MOCVDκαι άλλες εφαρμογές ακριβείας.
3. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση:Ανθεκτικό σε οξέα, αλκάλια, άλατα και διάφορα οργανικά αντιδραστήρια.
4. Βελτιωμένη σκληρότητα επιφάνειας:Συμπαγής επιφάνεια με λεπτά σωματίδια που παρέχουν μεγαλύτερη αντοχή και μακροζωία.
5. Εκτεταμένη διάρκεια ζωής:Σχεδιασμένο για σταθερή απόδοση, ξεπερνώντας τα τυπικά επικαλυμμένα με καρβίδιο του πυριτίου υποδοχείς σε σκληρά περιβάλλοντα επεξεργασίας.
Ως κορυφαίος κατασκευαστής, η VET Energy ειδικεύεται στον εξατομικευμένο γραφίτη καιπροϊόντα καρβιδίου του πυριτίουμε διάφορες επιλογές επίστρωσης, συμπεριλαμβανομένωνΕπικάλυψη SiC, Επικάλυψη TaC, υαλώδη επίστρωση άνθρακακαι επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα. Εξυπηρετούμε με υπερηφάνεια τις βιομηχανίες ημιαγωγών και φωτοβολταϊκών, παρέχοντας υποδοχείς γραφίτη με επίστρωση καρβιδίου του πυριτίου που ικανοποιούν συγκεκριμένες λειτουργικές απαιτήσεις.
Η τεχνική μας ομάδα, με εμπειρία από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, είναι αφοσιωμένη στην προώθηση υλικών λύσεων για τις εξελισσόμενες ανάγκες τουΥποδοχέας γραφίτη με επικάλυψη SiCαγορά. Μέσω της πατενταρισμένης διαδικασίας μας, η VET Energy έχει αναπτύξει μοναδική τεχνολογία που βελτιώνει σημαντικά την αντοχή συγκόλλησης μεταξύ της επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου και του υποστρώματος, μειώνοντας τον κίνδυνο αποκόλλησης και ενισχύοντας τη μακροπρόθεσμη αξιοπιστία.
Εφαρμογές και Πλεονεκτήματα στην Επεξεργασία Ημιαγωγών
ΟΕπικάλυψη SiC για MOCVDεπιτρέπειυποδοχέας γραφίτηεξαρτήματα για τη διατήρηση της ακεραιότητας σε περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας και διαβρωτικό, το οποίο είναι ζωτικής σημασίας για την παραγωγή ημιαγωγών ακριβείας. Αυτά τα επικαλυμμένα με SiC συστατικά γραφίτη εκτιμώνται ιδιαίτερα σε διαδικασίες που απαιτούν επικαλυμμένους με καρβίδιο πυριτίου υποδοχείς γιαφορείς γκοφρέτας γραφίτη, που απαιτούν υψηλή θερμική σταθερότητα, καθαρότητα και αντοχή στη χημική διάβρωση.
Με τις προηγμένες τεχνικές επίστρωσης καρβιδίου του πυριτίου, η VET Energy συνεχίζει να υποστηρίζει την αγορά φορέων γκοφρέτας γραφίτη παρέχοντας εξατομικευμένες, υψηλής απόδοσηςΕπικαλυμμένοι με SiC υποδοχείς γραφίτηπου αντιμετωπίζουν ειδικές προκλήσεις του κλάδου, από διαδικασίες MOCVD έως εφαρμογές υψηλής καθαρότητας στον τομέα των ημιαγωγών.