SiC Coating Graphite MOCVD Wafer Carriers Susceptors

Επικάλυψη SiC Γραφίτης MOCVD Φορείς Wafer Susceptors Επιλεγμένη εικόνα

Σύντομη περιγραφή:

Το VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor for Epitaxial Growth είναι ένα προϊόν υψηλής απόδοσης που έχει σχεδιαστεί για να παρέχει σταθερή και αξιόπιστη απόδοση για μεγάλο χρονικό διάστημα. Έχει εξαιρετικά καλή αντοχή στη θερμότητα και θερμική ομοιομορφία, υψηλή καθαρότητα, αντοχή στη διάβρωση, καθιστώντας το την τέλεια λύση για εφαρμογές επεξεργασίας γκοφρέτας.

Στείλτε μας email Λήψη ως PDF

Λεπτομέρεια προϊόντος

Ετικέτες προϊόντων

Φορείς/υποδοχέας γραφίτη επίστρωσης SiC MOCVD

Όλοι οι υποδοχείς μας είναι κατασκευασμένοι από ισοστατικό γραφίτη υψηλής αντοχής. Επωφεληθείτε από την υψηλή καθαρότητα των γραφιτών μας – που έχουν αναπτυχθεί ειδικά για δύσκολες διαδικασίες όπως η επιταξία, η ανάπτυξη κρυστάλλων, η εμφύτευση ιόντων και η χάραξη πλάσματος, καθώς και για την παραγωγή τσιπ LED.

Χαρακτηριστικά των προϊόντων μας:

1. Αντίσταση οξείδωσης υψηλής θερμοκρασίας έως 1700℃.
2. Υψηλή καθαρότητα και θερμική ομοιομορφία
3. Εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση: αντιδραστήρια οξύ, αλκάλια, αλάτι και οργανικά.
4. Υψηλή σκληρότητα, συμπαγής επιφάνεια, λεπτά σωματίδια.
5. Μεγαλύτερη διάρκεια ζωής και πιο ανθεκτικό

CVD SiC薄膜基本物理性能 Βασικές φυσικές ιδιότητες του CVD SiCεπένδυση
性质 / Περιουσία	典型数值 / Τυπική τιμή
晶体结构 / Κρυσταλλική Δομή	FCC β φάση多晶，主要为（111）取向
密度 / Πυκνότητα	3,21 g/cm³
硬度 / Σκληρότητα	2500 维氏硬度 (500 g φορτίο)
晶粒大小 / Grain SiZe	2~10μm
纯度 / Χημική Καθαρότητα	99,99995%
热容 / Θερμοχωρητικότητα	640 J·kg^-1·Κ^-1
升华温度 / Θερμοκρασία εξάχνωσης	2700℃
抗弯强度 / Καμπτική αντοχή	415 MPa RT 4 σημείων
杨氏模量 / Young's Modulus	430 Gpa 4pt κάμψη, 1300℃
导热系数 / ΘέρμαμεγάλοΑγώγιμο	300 W·m^-1·Κ^-1
热膨胀系数 / Θερμική διαστολή (CTE)	4,5×10^-6K^-1

Η VET Energy είναι ο πραγματικός κατασκευαστής προσαρμοσμένων προϊόντων γραφίτη και καρβιδίου του πυριτίου με διαφορετικές επικαλύψεις όπως επίστρωση SiC, επίστρωση TaC, επίστρωση υαλώδους άνθρακα, επίστρωση πυρολυτικού άνθρακα κ.λπ., μπορεί να παρέχει διάφορα προσαρμοσμένα εξαρτήματα για ημιαγωγούς και φωτοβολταϊκά βιομηχανία.

Η τεχνική μας ομάδα προέρχεται από κορυφαία εγχώρια ερευνητικά ιδρύματα, μπορεί να παρέχει πιο επαγγελματικές λύσεις υλικού για εσάς.

Αναπτύσσουμε συνεχώς προηγμένες διαδικασίες για την παροχή πιο προηγμένων υλικών και έχουμε επεξεργαστεί μια αποκλειστική κατοχυρωμένη με δίπλωμα ευρεσιτεχνίας τεχνολογία, η οποία μπορεί να κάνει τη συγκόλληση μεταξύ της επίστρωσης και του υποστρώματος πιο σφιχτή και λιγότερο επιρρεπή σε αποκόλληση.

Σας καλωσορίζουμε θερμά να επισκεφτείτε το εργοστάσιό μας, ας συζητήσουμε περαιτέρω!