Πώς να καθαρίσετε το σκάφος γραφίτη PECVD;| Ενέργεια ΕΕΚ

1. Επιβεβαίωση πριν τον καθαρισμό

1) Όταν τοΣκάφος γραφίτη PECVD/carrier χρησιμοποιείται περισσότερες από 100 έως 150 φορές, ο χειριστής πρέπει να ελέγξει έγκαιρα την κατάσταση επίστρωσης. Εάν υπάρχει μη φυσιολογική επίστρωση, πρέπει να καθαριστεί και να επιβεβαιωθεί. Το κανονικό χρώμα επίστρωσης της γκοφρέτας πυριτίου στο σκάφος/φορέα γραφίτη είναι μπλε. Εάν η γκοφρέτα έχει μη μπλε, πολλαπλά χρώματα ή η διαφορά χρώματος μεταξύ των γκοφρετών είναι μεγάλη, πρόκειται για μη φυσιολογική επίστρωση και η αιτία της ανωμαλίας πρέπει να επιβεβαιωθεί εγκαίρως.
2) Μετά τη διαδικασία το προσωπικό αναλύει την κατάσταση επίστρωσης τουΣκάφος γραφίτη PECVD/carrier, θα καθορίσουν εάν το σκάφος γραφίτη πρέπει να καθαριστεί και εάν το σημείο της κάρτας πρέπει να αντικατασταθεί και το σκάφος/φορέας γραφίτη που πρέπει να καθαριστεί θα παραδοθεί στο προσωπικό του εξοπλισμού για καθαρισμό.

 

3) Μετά τοσκάφος γραφίτη/carrier έχει καταστραφεί, το προσωπικό παραγωγής θα βγάλει όλες τις γκοφρέτες πυριτίου στο σκάφος γραφίτη και θα χρησιμοποιήσει CDA (συμπιεσμένο αέρα) για να ταξινομήσει τα θραύσματα στοσκάφος γραφίτη. Μετά την ολοκλήρωση, το προσωπικό του εξοπλισμού θα το ανυψώσει στη δεξαμενή οξέος που έχει παρασκευαστεί με μια ορισμένη αναλογία διαλύματος HF για καθαρισμό.

 

2. Καθαρισμός σκάφους γραφίτη

Συνιστάται η χρήση διαλύματος υδροφθορικού οξέος 15-25% για τρεις γύρους καθαρισμού, ο καθένας για 4-5 ώρες, και περιοδικά φυσαλίδες αζώτου κατά τη διαδικασία εμποτισμού και καθαρισμού, προσθέτοντας περίπου μισή ώρα καθαρισμού. Σημείωση: δεν συνιστάται η απευθείας χρήση αέρα ως πηγή αερίου για τη δημιουργία φυσαλίδων. Μετά το τουρσί, ξεπλύνετε με καθαρό νερό για περίπου 10 ώρες και επιβεβαιώστε ότι το σκάφος έχει καθαριστεί καλά. Μετά τον καθαρισμό, ελέγξτε την επιφάνεια του σκάφους, το σημείο της κάρτας γραφίτη και τον σύνδεσμο φύλλου σκάφους και άλλα μέρη για να δείτε εάν υπάρχουν υπολείμματα νιτριδίου του πυριτίου. Στη συνέχεια στεγνώστε σύμφωνα με τις απαιτήσεις.

3. Προφυλάξεις καθαρισμού

Α) Δεδομένου ότι το οξύ HF είναι μια εξαιρετικά διαβρωτική ουσία και έχει μια ορισμένη πτητικότητα, είναι επικίνδυνο για τους χειριστές. Ως εκ τούτου, οι χειριστές στη θέση καθαρισμού πρέπει να λαμβάνουν προφυλάξεις ασφαλείας και να τους διαχειρίζεται ένα ειδικό άτομο.

Β) Συνιστάται να αποσυναρμολογήσετε το σκάφος και να καθαρίσετε μόνο το τμήμα γραφίτη κατά τον καθαρισμό, ώστε κάθε τμήμα επαφής να μπορεί να καθαριστεί πιο προσεκτικά. Επί του παρόντος, πολλοί εγχώριοι κατασκευαστές χρησιμοποιούν γενικό καθαρισμό, κάτι που είναι βολικό, αλλά επειδή το οξύ HF είναι διαβρωτικό για τα κεραμικά μέρη, ο συνολικός καθαρισμός θα μειώσει τη διάρκεια ζωής των αντίστοιχων εξαρτημάτων.