Det foretrukne materiale til præcisionsdele af fotolitografimaskiner På halvlederområdet bruges keramiske siliciumcarbidmaterialer hovedsageligt i nøgleudstyr til fremstilling af integrerede kredsløb, såsom siliciumcarbid arbejdsbord, styreskinner, reflektorer, keramisk sugepatron, arme, g...
Læs mere