Hvad er sic coating?

Siliciumcarbider en hård forbindelse indeholdende silicium og kulstof, og findes i naturen som det yderst sjældne mineral moissanite. Siliciumcarbidpartikler kan bindes sammen ved sintring for at danne meget hård keramik, som er meget udbredt i applikationer, der kræver høj holdbarhed, især i halvlederprocessioner.

Fysisk struktur af SiC

Hvad er SiC Coating?

SiC-belægning er en tæt, slidstærk siliciumcarbidbelægning med høj korrosions- og varmebestandighed og fremragende varmeledningsevne. Denne højrente SiC-belægning bruges primært i halvleder- og elektronikindustrien til at beskytte waferbærere, baser og varmeelementer mod korrosive og reaktive miljøer. SiC-belægning er også velegnet til vakuumovne og prøveopvarmning i højvakuum, reaktive og oxygenmiljøer.

SiC-belægningsoverflade med høj renhed

Hvad er SiC-belægningsprocessen?

Et tyndt lag siliciumcarbid afsættes på overfladen af substratet vhaCVD (kemisk dampaflejring). Afsætning udføres sædvanligvis ved temperaturer på 1200-1300°C, og den termiske ekspansionsadfærd af substratmaterialet bør være kompatibel med SiC-belægningen for at minimere termisk stress.

CVD SIC FILM KRYSTAL STRUKTUR

CVD SIC Coating FILM KRYSTAL STRUKTUR

SiC-belægningens fysiske egenskaber afspejles hovedsageligt i dens høje temperaturbestandighed, hårdhed, korrosionsbestandighed og varmeledningsevne.

Typiske fysiske parametre er normalt som følger:

Hårdhed: SiC-belægning har typisk en Vickers-hårdhed i området 2000-2500 HV, hvilket giver dem ekstrem høj slid- og slagfasthed i industrielle applikationer.

Tæthed: SiC-belægninger har typisk en densitet på 3,1-3,2 g/cm³. Den høje densitet bidrager til belægningens mekaniske styrke og holdbarhed.

Termisk ledningsevne: SiC-belægninger har en høj varmeledningsevne, typisk i området 120-200 W/mK (ved 20°C). Dette giver den god varmeledningsevne i højtemperaturmiljøer og gør den særdeles velegnet til varmebehandlingsudstyr i halvlederindustrien.

Smeltepunkt: Siliciumcarbid har et smeltepunkt på ca. 2730°C og har fremragende termisk stabilitet ved ekstreme temperaturer.

Termisk udvidelseskoefficient: SiC-belægninger har en lav lineær termisk udvidelseskoefficient (CTE), typisk i området 4,0-4,5 µm/mK (i 25-1000 ℃). Det betyder, at dens formstabilitet er fremragende over store temperaturforskelle.

Korrosionsbestandighed: SiC-belægninger er ekstremt modstandsdygtige over for korrosion i stærk syre, alkali og oxiderende miljøer, især ved brug af stærke syrer (såsom HF eller HCl), deres korrosionsbestandighed overstiger langt den for konventionelle metalmaterialer.

SiC-belægninger kan påføres på følgende materialer:

Isostatisk grafit med høj renhed (lav CTE)
Wolfram
Molybdæn
Siliciumcarbid
Siliciumnitrid
Carbon-Carbon Composites (CFC)

SiC-belagte produkter er almindeligt anvendt i følgende områder:

LED chip produktion
Polysilicium produktion
Halvlederkrystalvækst
Silicium ogSiC epitaksi
Wafer varmebehandling og ætsning

Hvorfor vælge VET Energy?

VET Energy er en førende producent, innovator og leder af SiC-belægningsprodukter i Kina, de vigtigste SiC-belægningsprodukter omfatterwaferbærer med SiC-belægning, SiC belagtepitaksial susceptor, SiC-belagt grafitring, Halvmånedele med SiC-belægning, SiC belagt carbon-carbon komposit, SiC-belagt waferbåd, SiC-belagt varmelegemeosv. VET Energy er forpligtet til at forsyne halvlederindustrien med den ultimative teknologi og produktløsninger og understøtter tilpasningstjenester. Vi ser oprigtigt frem til at være din langsigtede partner i Kina.