Hovedfunktionerne vedsiliciumcarbid bådstøtte og kvartsbådstøtte er de samme.Siliciumcarbid bådsupport har fremragende ydeevne, men høj pris. Det udgør et alternativt forhold til kvartsbådsstøtte i batteribehandlingsudstyr med barske arbejdsforhold (såsom LPCVD-udstyr og bor-diffusionsudstyr). I batteribehandlingsudstyr med almindelige arbejdsforhold bliver siliciumcarbid og kvartsbådstøtte på grund af prisforhold sameksisterende og konkurrerende kategorier.
① Substitutionsforhold i LPCVD og bor diffusionsudstyr
LPCVD-udstyr bruges til oxidation af battericelletunnel og forberedelse af dopet polysiliciumlag. Arbejdsprincip:
Under lavtryksatmosfære, kombineret med passende temperatur, opnås kemisk reaktion og dannelse af aflejringsfilm for at fremstille et ultratyndt tunneloxidlag og polysiliciumfilm. I tunneloxidation og forberedelse af dopet polysiliciumlag har bådstøtten en høj arbejdstemperatur, og en siliciumfilm vil blive aflejret på overfladen. Den termiske udvidelseskoefficient for kvarts er helt anderledes end siliciums. Når det bruges i ovennævnte proces, er det nødvendigt regelmæssigt at sylte og fjerne silicium aflejret på overfladen for at forhindre, at kvartsbådstøtten går i stykker på grund af termisk ekspansion og sammentrækning på grund af den forskellige termiske ekspansionskoefficient fra silicium. På grund af hyppig bejdsning og lav højtemperaturstyrke har kvartsbådsholderen en kort levetid og udskiftes hyppigt i tunneloxidations- og dopet polysiliciumlagsforberedelsesprocessen, hvilket øger produktionsomkostningerne for battericellen betydeligt. Udvidelseskoefficienten påsiliciumcarbider tæt på siliciums. Den integreredesiliciumcarbid bådholderen kræver ikke bejdsning i tunneloxidation og forberedelse af dopet polysiliciumlag. Det har høj høj temperatur styrke og lang levetid. Det er et godt alternativ til kvartsbådsholderen.
Borekspansionsudstyr bruges hovedsageligt til processen med doping af borelementer på N-type siliciumwafersubstratet i battericellen for at forberede P-type emitteren til at danne en PN-forbindelse. Arbejdsprincippet er at realisere kemisk reaktion og molekylær aflejringsfilmdannelse i en højtemperaturatmosfære. Efter at filmen er dannet, kan den spredes ved højtemperaturopvarmning for at realisere dopingfunktionen af siliciumwaferoverfladen. På grund af borekspansionsudstyrets høje arbejdstemperatur har kvartsbådholderen lav højtemperaturstyrke og kort levetid i borekspansionsudstyret. Den integreredesiliciumcarbid bådholderen har høj højtemperaturstyrke og er et godt alternativ til kvartsbådholderen i borekspansionsprocessen.
② Substitutionsforhold i andet procesudstyr
SiC bådstøtter har en stram produktionskapacitet og fremragende ydeevne. Deres prissætning er generelt højere end for kvartsbådstøtter. I generelle arbejdsforhold for cellebehandlingsudstyr er forskellen i levetid mellem SiC-bådstøtter og kvartsbådstøtter lille. Downstream-kunder sammenligner og vælger hovedsageligt mellem pris og ydeevne baseret på deres egne processer og behov. SiC-bådstøtter og kvartsbådstøtter er blevet sameksisterende og konkurrencedygtige. Dog er bruttoavancen for SiC-bådstøtter relativt høj i øjeblikket. Med faldet i produktionsomkostningerne for SiC-bådstøtter, vil det, hvis salgsprisen på SiC-bådstøtter aktivt falder, også udgøre en større konkurrenceevne for kvartsbådstøtter.
Brugsforhold
Celleteknologiruten er hovedsageligt PERC-teknologi og TOPCon-teknologi. Markedsandelen for PERC-teknologi er 88%, og markedsandelen for TOPCon-teknologi er 8,3%. Den kombinerede markedsandel af de to er 96,30%.
Som vist i figuren nedenfor:
I PERC-teknologi kræves bådstøtter til de forreste fosfordiffusions- og udglødningsprocesser. I TOPCon-teknologien kræves bådstøtter til frontbordiffusion, LPCVD, fosfordiffusion på bagsiden og udglødningsprocesser. På nuværende tidspunkt bruges siliciumcarbid bådstøtter hovedsageligt i LPCVD-processen af TOPCon-teknologi, og deres anvendelse i bor-diffusionsprocessen er hovedsageligt blevet verificeret.
Figur Anvendelse af bådstøtter i cellebehandlingsprocessen
Bemærk: Efter for- og bagbelægningen af PERC- og TOPCon-teknologier er der stadig links såsom serigrafi, sintring og test og sortering, som ikke involverer brug af bådstøtter og ikke er anført i ovenstående figur.
Indlægstid: 15. oktober 2024