Loď a podstavec s vertikálním sloupem

Krátký popis:

Vertical Column Wafer Boat & Pedestal od vet-china nabízí vynikající stabilitu a přesnost při manipulaci s destičkami pro výrobu polovodičů. Díky pokročilé konstrukci vet-china tento systém zajišťuje optimální vyrovnání a bezpečné uchycení, zvyšuje provozní efektivitu a snižuje poškození plátků.


Detail produktu

Štítky produktu

vet-china představuje inovativní Vertical Column Wafer Boat & Pedestal, komplexní řešení pro pokročilé zpracování polovodičů. Tento systém pro manipulaci s destičkami, navržený s pečlivou přesností, poskytuje bezkonkurenční stabilitu a zarovnání, což je klíčové pro vysoce efektivní výrobní prostředí.

Vertical Column Wafer Boat & Pedestal je vyroben z prvotřídních materiálů, které zaručují tepelnou stabilitu a odolnost proti chemické korozi, díky čemuž je vhodný pro nejnáročnější procesy výroby polovodičů. Jeho unikátní vertikální sloupová konstrukce bezpečně podpírá wafery, čímž snižuje riziko nesouososti a potenciálního poškození během přepravy a zpracování.

Díky integraci Vertical Column Wafer Boat & Pedestal společnosti vet-china mohou výrobci polovodičů očekávat lepší propustnost, minimalizaci prostojů a zvýšenou výtěžnost produktu. Tento systém je kompatibilní s různými velikostmi a konfiguracemi plátků a nabízí flexibilitu a škálovatelnost pro různé výrobní potřeby.

Závazek vet-china k dokonalosti zajišťuje, že každý člun a podstavec s vertikálním sloupem splňuje nejvyšší standardy kvality a výkonu. Výběrem tohoto špičkového řešení investujete do budoucího přístupu k manipulaci s destičkami, který maximalizuje efektivitu a spolehlivost při výrobě polovodičů.

Loď a podstavec s vertikálním sloupem

Vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku

Rekrystalizovaný karbid křemíku (R-SiC) je vysoce výkonný materiál s tvrdostí hned po diamantu, který vzniká při vysoké teplotě nad 2000℃. Zachovává si mnoho vynikajících vlastností SiC, jako je pevnost při vysokých teplotách, silná odolnost proti korozi, vynikající odolnost proti oxidaci, dobrá odolnost proti tepelným šokům a tak dále.

● Vynikající mechanické vlastnosti. Rekrystalizovaný karbid křemíku má vyšší pevnost a tuhost než uhlíková vlákna, vysokou odolnost proti nárazu, může hrát dobrý výkon v extrémních teplotních prostředích, může hrát lepší protiváhu v různých situacích. Kromě toho má také dobrou pružnost a snadno se nepoškodí natahováním a ohýbáním, což výrazně zlepšuje jeho výkon.

● Vysoká odolnost proti korozi. Rekrystalizovaný karbid křemíku má vysokou korozní odolnost vůči různým médiím, může zabránit erozi různých korozivních médií, může si udržet své mechanické vlastnosti po dlouhou dobu, má silnou adhezi, takže má delší životnost. Kromě toho má také dobrou tepelnou stabilitu, může se přizpůsobit určitému rozsahu teplotních změn, zlepšit svůj aplikační účinek.

● Slinování se nesmršťuje. Protože se proces slinování nesmršťuje, žádné zbytkové napětí nezpůsobí deformaci nebo praskání produktu a lze připravit díly se složitými tvary a vysokou přesností.

重结晶碳化硅物理特性

Fyzikální vlastnosti rekrystalizovaného karbidu křemíku

性质 / Nemovitosti

典型数值 / Typická hodnota

使用温度/ Pracovní teplota (°C)

1600 °C (s kyslíkem), 1700 °C (redukující prostředí)

SiC含量/ obsah SiC

> 99,96 %

自由Si含量/ Volný obsah Si

< 0,1 %

体积密度/Objemová hmotnost

2,60-2,70 g/cm3

气孔率/ Zjevná pórovitost

< 16 %

抗压强度/ Pevnost v tlaku

> 600MPa

常温抗弯强度/Pevnost v ohybu za studena

80-90 MPa (20 °C)

高温抗弯强度Pevnost v ohybu za tepla

90-100 MPa (1400 °C)

热膨胀系数/ Tepelná roztažnost @1500°C

4,70 10-6/°C

导热系数/Tepelná vodivost @1200°C

23W/m•K

杨氏模量/ Modul pružnosti

240 GPa

抗热震性/ Odolnost proti tepelným šokům

Mimořádně dobré

VET Energy je askutečný výrobce přizpůsobených produktů z grafitu a karbidu křemíku s CVD povlakem,může dodatrůznézakázkové díly pro polovodičový a fotovoltaický průmysl. Ováš technický tým pochází ze špičkových tuzemských výzkumných institucí, dokáže poskytnout profesionálnější materiálová řešenípro vás.

Neustále vyvíjíme pokročilé procesy, abychom poskytovali pokročilejší materiály,avyvinuli exkluzivní patentovanou technologii, díky které je spojení mezi nátěrem a substrátem těsnější a méně náchylné k odlepení.

CVD SiC薄膜基本物理性能

Základní fyzikální vlastnosti CVD SiCpovlak

性质 / Nemovitosti

典型数值 / Typická hodnota

晶体结构 / Krystalová struktura

FCC β fáze多晶,主要为(111)取向

密度 / Hustota

3,21 g/cm³

硬度 / Tvrdost

2500 维氏硬度(500g náplň)

晶粒大小 / Velikost zrna

2~10μm

纯度 / Chemická čistota

99,99995 %

热容 / Tepelná kapacita

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Teplota sublimace

2700 ℃

抗弯强度 / Pevnost v ohybu

415 MPa RT 4-bod

杨氏模量 / Youngův modul

Ohyb 430 Gpa 4pt, 1300℃

导热系数 / ThermalVodivost

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Tepelná expanze (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Srdečně vás vítáme k návštěvě naší továrny, pojďme dále diskutovat!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Předchozí:
  • Další:

  • WhatsApp online chat!