Производител на графитни капаци с TaC покритие

Кратко описание:

Semicera е лидер в полупроводниковата индустрия с продуктова линия от танталов карбид (TaC), която отговаря на все по-взискателните изисквания.С появата на 8-инчовите пластини от силициев карбид (SiC) температурните изисквания за различни полупроводникови процеси станаха по-строги, особено за епитаксиалния процес, който може да достигне над 2000 градуса по Целзий.Традиционните основни материали, като графит, покрит със силициев карбид, са склонни да сублимират при високи температури и да разрушат епитаксиалния процес.CvD танталов карбид (TaC) осигурява ефективно решение на този проблем, способен да издържа на температури до 2300 градуса по Целзий и осигурява по-дълъг експлоатационен живот.Добре дошли да се свържете със Semicera, за да научите за нашите покривни плочи с покритие от танталов карбид и да научите повече за нашите усъвършенствани решения.Нашите продукти ще осигурят отлична защита за вашия епитаксиален процес, ще гарантират температурна стабилност и дълъг експлоатационен живот, като по този начин ще подобрят ефективността на процеса, ще намалят разходите и ще ви помогнат да постигнете по-голям успех.

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

TaC покритието е вид покритие от танталов карбид (TaC), получено чрез технология за физическо отлагане на пари, то има следните характеристики:

1. Висока твърдост: Твърдостта на TaC покритието е висока, обикновено може да достигне 2500-3000HV, е отлично твърдо покритие.

2. Устойчивост на износване: TaC покритието е много устойчиво на износване, което може ефективно да намали износването и повредата на механичните части по време на употреба.

3. Добра устойчивост на висока температура: TaC покритието може също да поддържа отличната си производителност при висока температура.

4. Добра химическа стабилност: TaC покритието има добра химическа стабилност и може да устои на много химични реакции, като киселини и основи.

碳化钽涂层物理特性物理特性 Физически свойства на TaC покритие
密度/ Плътност	14,3 (g/cm³)
比辐射率 / Специфична излъчвателна способност	0,3
热膨胀系数 / Коефициент на термично разширение	6.3 10^-6/K
努氏硬度/ Твърдост (HK)	2000 HK
电阻 / Съпротива	1×10^-5 Ом*см
热稳定性 / Термична стабилност	<2500 ℃
石墨尺寸变化 / Промени в размера на графита	-10~-20um
涂层厚度 / Дебелина на покритието	≥20um типична стойност (35um±10um)

Ningbo VET Energy Technology Co., Ltd е високотехнологично предприятие, фокусирано върху производството и продажбите на модерни материали от висок клас, материалите и технологиите, обхващащи графит, силициев карбид, керамика, повърхностна обработка и т.н.Продуктите се използват широко във фотоволтаиците, полупроводниците, новата енергия, металургията и др.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решения за вас.

Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!