MOCVD графитен носител с CVD SiC покритие

Кратко описание:

VET Energy SiC Coated MOCVD Susceptor е продукт с висока производителност, предназначен да осигури постоянна и надеждна работа за продължителен период от време. Има супер добра устойчивост на топлина и топлинна еднородност, висока чистота, устойчивост на ерозия, което го прави идеалното решение за приложения за обработка на вафли.

Изпратете имейл до нас Изтеглете като PDF

Подробности за продукта

Продуктови етикети

Графитният ток с покритие от SiC е ключов компонент, използван в различни процеси за производство на полупроводници. ние използваме нашата патентована технология, за да направим приемника с изключително висока чистота, добра равномерност на покритието и отличен експлоатационен живот, както и висока химическа устойчивост и термична стабилност.

Характеристики на нашите продукти:

1. Устойчивост на окисление при висока температура до 1700 ℃.
2. Висока чистота и термична еднородност
3. Отлична устойчивост на корозия: киселина, основи, сол и органични реагенти.
4. Висока твърдост, компактна повърхност, фини частици.
5. По-дълъг експлоатационен живот и по-издръжлив

ССЗ SiC薄膜基本物理性能 Основни физични свойства на CVD SiCпокритие
性质 / Имот	典型数值 / Типична стойност
晶体结构 / Кристална структура	FCC β фаза多晶，主要为（111) 取向
密度 / Плътност	3,21 g/cm³
硬度 / Твърдост	2500 维氏硬度（500g товар）
晶粒大小 / Размер на зърното	2~10μm
纯度 / Химическа чистота	99,99995%
热容 / Топлинен капацитет	640 J·kg^-1·К^-1
升华温度 / Температура на сублимация	2700 ℃
抗弯强度 / Якост на огъване	415 MPa RT 4-точков
杨氏模量 / Модулът на Йънг	430 Gpa 4pt завой, 1300 ℃
导热系数 / ТермалПроводимост	300W·m^-1·К^-1
热膨胀系数 / Термично разширение (CTE)	4,5×10^-6K^-1

VET Energy е истинският производител на персонализирани продукти от графит и силициев карбид с различни покрития като SiC покритие, TaC покритие, стъкловъглеродно покритие, пиролитично въглеродно покритие и т.н., може да достави различни персонализирани части за полупроводниковата и фотоволтаичната индустрия.

Нашият технически екип идва от водещи местни изследователски институции, може да предостави по-професионални материални решения за вас.

Ние непрекъснато разработваме усъвършенствани процеси, за да осигурим по-усъвършенствани материали и разработихме изключителна патентована технология, която може да направи връзката между покритието и субстрата по-плътна и по-малко податлива на отделяне.

Горещо ви приветстваме да посетите нашата фабрика, нека да обсъдим допълнително!