Сприемач за барел за епитаксия в течна фаза LPE

Варелен сенцептор за течнофазова епитаксия LPE

EPI (епитаксия)е критичен процес в производството на усъвършенствани полупроводници. Това включва отлагането на тънки слоеве материал върху субстрат за създаване на сложни структури на устройството. Покритият с SiC графитен цилиндричен ток за EPI обикновено се използва като ток за EPI реактори поради тяхната отлична топлопроводимост и устойчивост на високи температури. сCVD-SiC покритие, става по-устойчив на замърсяване, ерозия и термичен удар. Това води до по-дълъг живот на приемника и подобрено качество на филма.

Предимства на нашия цевноприемник за течнофазова епитаксия LPE:
Намалено замърсяване:Инертната природа на SiC предотвратява прилепването на примеси към повърхността на носителя, намалявайки риска от замърсяване на отложените филми.
Повишена устойчивост на ерозия:SiC е значително по-устойчив на ерозия от конвенционалния графит, което води до по-дълъг живот на фиксатора.
Подобрена термична стабилност:SiC има отлична топлопроводимост и може да издържа на високи температури без значително изкривяване.
Подобрено качество на филма:Подобрената термична стабилност и намаленото замърсяване водят до по-висококачествени отложени филми с подобрена еднородност и контрол на дебелината.