Продуктовата линия на VET Energy не се ограничава до GaN върху SiC пластини. Ние също така предоставяме широка гама от полупроводникови субстратни материали, включително Si Wafer, SiC субстрат, SOI Wafer, SiN субстрат, Epi Wafer и т.н. В допълнение, ние също така активно разработваме нови широколентови полупроводникови материали, като галиев оксид Ga2O3 и AlN Wafer, за да отговори на бъдещото търсене на индустрията на силова електроника за устройства с по-висока производителност.
VET Energy предоставя гъвкави услуги за персонализиране и може да персонализира GaN епитаксиални слоеве с различни дебелини, различни видове допинг и различни размери на пластини според специфичните нужди на клиентите. В допълнение, ние също така предоставяме професионална техническа поддръжка и следпродажбено обслужване, за да помогнем на клиентите бързо да разработят високоефективни силови електронни устройства.
СПЕЦИФИКАЦИИ НА ВАФЛИТЕ
*n-Pm=n-тип Pm-клас,n-Ps=n-тип Ps-клас,Sl=полуизолиращ
Артикул | 8-инчов | 6-инчов | 4-инчов | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV (GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Лък (GF3YFCD)-Абсолютна стойност | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Изкривяване (GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer Edge | Скосяване |
ПОВЪРХНОСТНО ЗАВЪРШВАНЕ
*n-Pm=n-тип Pm-клас,n-Ps=n-тип Ps-клас,Sl=полуизолиращ
Артикул | 8-инчов | 6-инчов | 4-инчов | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Повърхностно покритие | Двустранно оптично полиране, Si-Face CMP | ||||
Грапавост на повърхността | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Крайни чипове | Няма разрешено (дължина и ширина≥0,5 mm) | ||||
Отстъпи | Няма разрешено | ||||
Драскотини (Si-Face) | Кол.≤5, Кумулативно | Кол.≤5, Кумулативно | Кол.≤5, Кумулативно | ||
Пукнатини | Няма разрешено | ||||
Изключване на ръба | 3 мм |