Нанясенне тонкай плёнкі заключаецца ў нанясенні пласта плёнкі на асноўны матэрыял падкладкі паўправадніка. Гэтая плёнка можа быць выраблена з розных матэрыялаў, такіх як ізаляцыйнае злучэнне дыяксіду крэмнія, паўправадніковага полісіліцыя, металічнай медзі і г. д. Абсталяванне, якое выкарыстоўваецца для нанясення пакрыцця, называецца нанясеннем тонкай плёнкі...
Больш падрабязна