Як ачысціць графітавыя лодкі PECVD？| ПТВ энергетыкі

1. Пацвярджэнне перад чысткай

1) КаліГрафітавая лодка PECVD/носьбіт выкарыстоўваецца больш за 100-150 разоў, аператар павінен своечасова правяраць стан пакрыцця. Калі ёсць ненармальнае пакрыццё, яго трэба ачысціць і пацвердзіць. Нармальны колер пакрыцця крамянёвай пласціны ў графітавай лодцы/носьбіце - сіні. Калі пласціна мае неблакітны, некалькі колераў, або розніца ў колеры паміж пласцінамі вялікая, гэта ненармальнае пакрыццё, і прычыну анамаліі трэба своечасова пацвердзіць.
2) Пасля працэсу персанал аналізуе стан пакрыццяГрафітавая лодка PECVD/носьбіта, яны вызначаць, ці патрэбна ачыстка графітавай лодкі і неабходнасць замены кропкі карты, а графітавая лодка/носьбіт, якую неабходна ачысціць, будзе перададзена персаналу абсталявання для ачысткі.

 

3) Пасляграфітавы човен/носьбіт пашкоджаны, вытворчы персанал дастане ўсе крамянёвыя пласціны з графітавай лодкі і выкарыстае CDA (сціснутае паветра), каб адсартаваць фрагменты ўграфітавы човен. Пасля завяршэння персанал абсталявання падыме яго ў рэзервуар для кіслаты, які быў падрыхтаваны з пэўнай доляй раствора HF для ачысткі.

 

2. Чыстка графітавай лодкі

Рэкамендуецца выкарыстоўваць 15-25% раствор фтористоводородной кіслаты для трох раундаў ачысткі, кожны па 4-5 гадзін, і перыядычна прапускаць азот у працэсе замочвання і ачысткі, дадаючы прыкладна паўгадзіны ачысткі; нататка: не рэкамендуецца выкарыстоўваць непасрэдна паветра ў якасці крыніцы газу для барботирования. Пасля пратручвання прамыйце чыстай вадой каля 10 гадзін і пераканайцеся, што лодка была старанна ачышчана. Пасля ачысткі, калі ласка, праверце паверхню лодкі, кропку графітавай карты і злучэнне дошкі лодкі, а таксама іншыя часткі, каб убачыць, ці няма рэшткаў нітрыду крэмнію. Затым высушыце ў адпаведнасці з патрабаваннямі.

3. Меры засцярогі пры ўборцы

A) Паколькі кіслата HF з'яўляецца моцна каразійным рэчывам і мае пэўную лятучасць, яна небяспечная для аператараў. Такім чынам, аператары на ачышчальным пункце павінны выконваць меры бяспекі і кіравацца спецыяльнай асобай.

B) Рэкамендуецца разабраць лодку і чысціць толькі графітавыя часткі падчас чысткі, так што кожная кантактная частка можа быць ачышчана больш старанна. У цяперашні час многія айчынныя вытворцы выкарыстоўваюць агульную ачыстку, што зручна, але паколькі кіслата HF з'ядае керамічныя дэталі, поўная ачыстка скароціць тэрмін службы адпаведных дэталяў.