Карбід крэмніюгэта цвёрдае злучэнне, якое змяшчае крэмній і вуглярод, і сустракаецца ў прыродзе як надзвычай рэдкі мінерал муассаніт. Часціцы карбіду крэмнію можна злучыць разам шляхам спякання з адукацыяй вельмі цвёрдай керамікі, якая шырока выкарыстоўваецца ў прылажэннях, якія патрабуюць высокай трываласці, асабліва ў працэсе паўправаднікоў.
Фізічная будова SiC
Што такое пакрыццё SiC?
Пакрыццё SiC - гэта шчыльнае, зносастойкае пакрыццё з карбіду крэмнію з высокай каразійнай і тэрмаўстойлівасцю і выдатнай цеплаправоднасцю. Гэта высокачыстае пакрыццё SiC у асноўным выкарыстоўваецца ў паўправадніковай і электроннай прамысловасці для абароны пласцін-носьбітаў, асноў і награвальных элементаў ад агрэсіўных і рэакцыйных асяроддзяў. Пакрыццё SiC таксама падыходзіць для вакуумных печаў і нагрэву ўзораў у высокім вакууме, рэактыўным і кіслародным асяроддзі.
Паверхня пакрыцця SiC высокай чысціні
Што такое працэс пакрыцця SiC?
Тонкі пласт карбіду крэмнію наносіцца на паверхню падкладкі з дапамогайCVD (хімічнае асаджэнне з пара). Асаджэнне звычайна праводзіцца пры тэмпературах 1200-1300°C, і паводзіны матэрыялу падкладкі пры цеплавым пашырэнні павінны быць сумяшчальнымі з пакрыццём SiC, каб мінімізаваць цеплавую нагрузку.
CVD SIC пакрыццё ПЛЕНКА КРЫШТАЛІЧНАЯ СТРУКТУРА
Фізічныя ўласцівасці пакрыцця SiC у асноўным адлюстроўваюцца на яго высокай тэрмаўстойлівасці, цвёрдасці, устойлівасці да карозіі і цеплаправоднасці.
Тыповыя фізічныя параметры звычайна наступныя:
Цвёрдасць: SiC-пакрыццё звычайна мае цвёрдасць па Віккерсу ў дыяпазоне 2000-2500 HV, што забяспечвае ім надзвычай высокую зносаўстойлівасць і ўстойлівасць да ўдараў у прамысловасці.
Шчыльнасць: SiC-пакрыцці звычайна маюць шчыльнасць 3,1-3,2 г/см³. Высокая шчыльнасць спрыяе механічнай трываласці і даўгавечнасці пакрыцця.
Цеплаправоднасць: SiC-пакрыцці маюць высокую цеплаправоднасць, звычайна ў дыяпазоне 120-200 Вт/мК (пры 20°C). Гэта забяспечвае яму добрую цеплаправоднасць пры высокай тэмпературы і робіць яго асабліва прыдатным для абсталявання для тэрмаапрацоўкі ў паўправадніковай прамысловасці.
Тэмпература плаўлення: карбід крэмнію мае тэмпературу плаўлення прыблізна 2730°C і выдатную тэрмічную стабільнасць пры экстрэмальных тэмпературах.
Каэфіцыент цеплавога пашырэння: SiC-пакрыцці маюць нізкі лінейны каэфіцыент цеплавога пашырэння (КТР), звычайна ў дыяпазоне 4,0-4,5 мкм/мК (пры 25-1000 ℃). Гэта азначае, што яго стабільнасць памераў выдатная пры вялікіх перападах тэмператур.
Ўстойлівасць да карозіі: SiC-пакрыцці надзвычай устойлівыя да карозіі ў моцных кіслотах, шчолачах і акісляльных асяроддзях, асабліва пры выкарыстанні моцных кіслот (такіх як HF або HCl), іх каразійная ўстойлівасць значна перавышае ўстойлівасць да карозіі звычайных металічных матэрыялаў.
SiC-пакрыцці можна наносіць на наступныя матэрыялы:
Ізастатычны графіт высокай чысціні (нізкі КТР)
Вальфрам
Малібдэн
Карбід крэмнію
Нітрыд крэмнію
Вуглярод-вугляродныя кампазіты (CFC)
Прадукты з пакрыццём SiC звычайна выкарыстоўваюцца ў наступных галінах:
Вытворчасць святлодыёдных чыпаў
Вытворчасць поликремния
Паўправаднікрост крышталяў
Крэмній іSiC эпітаксія
Тэрмаапрацоўка пласцін і тручэнне
Чаму выбіраюць VET Energy?
VET Energy з'яўляецца вядучым вытворцам, наватарам і лідэрам у вытворчасці SiC пакрыццяў у Кітаі, асноўныя прадукты SiC пакрыцця ўключаюцьвафельны носьбіт з пакрыццём SiC, SiC пакрыццёмэпітаксіяльны спрымальнік, Кольца з графіту з SiC, Дэталі-паўмесяцы з пакрыццём SiC, Вугляродна-вугляродны кампазіт з пакрыццём SiC, Пласцінавая лодка з пакрыццём SiC, Награвальнік з пакрыццём SiCі г.д. VET Energy імкнецца прадастаўляць паўправадніковай прамысловасці найлепшыя тэхналогіі і рашэнні для прадуктаў, а таксама падтрымлівае паслугі па персаналізацыі. Мы шчыра спадзяемся стаць вашым доўгатэрміновым партнёрам у Кітаі.
Калі ў вас ёсць якія-небудзь пытанні ці вам патрэбна дадатковая інфармацыя, калі ласка, не саромейцеся звязацца з намі.
Whatsapp&Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Час публікацыі: 18 кастрычніка 2024 г