Асноўныя функцыі стлодка з карбіду крэмніяапора і апора для кварцавай лодкі аднолькавыя.Лодка з карбіду крэмніяпадтрымка мае выдатную прадукцыйнасць, але высокую цану. Гэта ўяўляе сабой альтэрнатыўныя адносіны з падтрымкай кварцавай лодкі ў абсталяванні для апрацоўкі батарэй з жорсткімі ўмовамі працы (напрыклад, абсталяванне LPCVD і абсталяванне для дыфузіі бору). У абсталяванні для апрацоўкі акумулятараў са звычайнымі ўмовамі працы з-за цэнавых адносін карбід крэмнію і кварцавыя апоры для лодак становяцца суіснуючымі і канкуруючымі катэгорыямі.
① Адносіны замяшчэння ў LPCVD і дыфузійным абсталяванні бору
Абсталяванне LPCVD выкарыстоўваецца для працэсу акіслення тунэлявання элементаў акумулятара і падрыхтоўкі пласта легаванага полісілікону. Прынцып працы:
У атмасферы нізкага ціску ў спалучэнні з адпаведнай тэмпературай дасягаецца хімічная рэакцыя і ўтварэнне плёнкі для атрымання звыштонкага тунэльнага аксіднага пласта і полісіліконавай плёнкі. У працэсе тунэльнага акіслення і падрыхтоўкі пласта легаванага полікрэмнію апора для лодкі мае высокую працоўную тэмпературу, і на паверхні наносіцца крэмніевая плёнка. Каэфіцыент цеплавога пашырэння кварца значна адрозніваецца ад каэфіцыента цеплавога пашырэння крэмнію. Пры выкарыстанні ў апісаным вышэй працэсе неабходна рэгулярна пратручваць і выдаляць крэмній, які адклаўся на паверхні, каб прадухіліць паломку кварцавай апоры лодкі з-за цеплавога пашырэння і сціскання з-за рознага каэфіцыента цеплавога пашырэння ад крэмнію. З-за частага тручэння і нізкай трываласці пры высокіх тэмпературах кварцавы трымальнік для лодкі мае кароткі тэрмін службы і часта замяняецца ў працэсе тунэльнага акіслення і падрыхтоўкі пласта полісіліконавага пласта, што значна павялічвае кошт вытворчасці акумулятара. Каэфіцыент пашырэннякарбід крэмніюблізкі да крэмнію. Інтэграванылодка з карбіду крэмніятрымальнік не патрабуе пратручвання ў працэсе тунэльнага акіслення і падрыхтоўкі пласта легаванага полікрэмнію. Ён валодае высокай трываласцю пры высокіх тэмпературах і доўгім тэрмінам службы. Гэта добрая альтэрнатыва кварцаваму трымальніку для лодкі.
Абсталяванне для пашырэння борам у асноўным выкарыстоўваецца для працэсу легіравання элементаў борам на падкладцы крэмніевых пласцін N-тыпу акумулятарнага элемента для падрыхтоўкі эмітэра P-тыпу да фарміравання PN-пераходу. Прынцып працы заключаецца ў рэалізацыі хімічнай рэакцыі і фарміраванні плёнкі малекулярнага асаджэння ў атмасферы высокай тэмпературы. Пасля таго, як плёнка сфарміравана, яна можа быць рассеяна шляхам высокатэмпературнага нагрэву, каб рэалізаваць функцыю легіравання паверхні крамянёвай пласціны. З-за высокай працоўнай тэмпературы абсталявання для пашырэння бору кварцавы трымальнік для лодкі мае нізкую трываласць пры высокіх тэмпературах і кароткі тэрмін службы ў абсталяванні для пашырэння бору. Інтэграванылодка з карбіду крэмніятрымальнік мае высокую трываласць пры высокіх тэмпературах і з'яўляецца добрай альтэрнатывай кварцаваму трымальніку для лодкі ў працэсе пашырэння бору.
② Адносіны замены ў іншым тэхналагічным абсталяванні
Апоры для лодак з SiC маюць невялікія вытворчыя магутнасці і выдатныя характарыстыкі. Іх кошт звычайна вышэй, чым у кварцавых апор для лодак. У агульных умовах працы абсталявання для апрацоўкі клетак розніца ў тэрміне службы паміж апорамі для лодак з SiC і кварцавымі апорамі для лодак невялікая. Кліенты ніжэйшага патоку ў асноўным параўноўваюць і выбіраюць паміж коштам і прадукцыйнасцю ў залежнасці ад уласных працэсаў і патрэб. Апоры для лодак з SiC і кварцавыя апоры для лодак сталі суіснуючымі і канкурэнтаздольнымі. Тым не менш, валавы прыбытак апор для лодак з SiC у цяперашні час адносна высокі. Са зніжэннем кошту вытворчасці апор для лодак з SiC, калі адпускная цана апор для лодак з SiC актыўна зніжаецца, гэта таксама будзе ствараць большую канкурэнтаздольнасць кварцавых апор для лодак.
Каэфіцыент выкарыстання
Шлях клетачнай тэхналогіі - гэта ў асноўным тэхналогіі PERC і TOPCon. Доля рынку тэхналогіі PERC складае 88%, а доля рынку тэхналогіі TOPCon - 8,3%. Сукупная доля рынку гэтых двух складае 96,30%.
Як паказана на малюнку ніжэй:
У тэхналогіі PERC для працэсаў пярэдняй дыфузіі фосфару і адпалу неабходныя апоры для лодак. У тэхналогіі TOPCon для працэсаў пярэдняй дыфузіі бору, LPCVD, задняй дыфузіі фосфару і адпалу неабходныя апоры для лодак. У цяперашні час апоры для лодак з карбіду крэмнію ў асноўным выкарыстоўваюцца ў працэсе LPCVD па тэхналогіі TOPCon, і іх прымяненне ў працэсе дыфузіі бору ў асноўным праверана.
Малюнак Прымяненне лодкавых апор у працэсе апрацоўкі клетак
Заўвага: пасля пярэдняга і задняга пакрыцця па тэхналогіях PERC і TOPCon яшчэ ёсць спасылкі, такія як трафарэтны друк, спяканне, тэставанне і сартаванне, якія не прадугледжваюць выкарыстання апор для лодкі і не пералічаны на малюнку вышэй.
Час публікацыі: 15 кастрычніка 2024 г