Перш за ўсё, мы павінны ведацьPECVD(Плазменнае хімічнае асаджэнне з пара). Плазма - гэта інтэнсіфікацыя цеплавога руху малекул рэчыва. Сутыкненне паміж імі прывядзе да іянізацыі малекул газу, і матэрыял стане сумессю свабодна рухаюцца станоўчых іёнаў, электронаў і нейтральных часціц, якія ўзаемадзейнічаюць адзін з адным.
Паводле ацэнак, каэфіцыент страты святла пры адлюстраванні на паверхні крэмнію складае каля 35%. Антыблікавая плёнка можа значна палепшыць каэфіцыент выкарыстання сонечнага святла элементам батарэі, што дапамагае павялічыць шчыльнасць фотагенераванага току і, такім чынам, палепшыць эфектыўнасць пераўтварэння. У той жа час вадарод у плёнцы пасівіруе паверхню элемента акумулятара, памяншае хуткасць павярхоўнай рэкамбінацыі эмітэрнага пераходу, памяншае цемнавы ток, павялічвае напружанне халасты ланцуга і паляпшае эфектыўнасць фотаэлектрычнага пераўтварэння. Высокатэмпературны імгненны адпал у працэсе прагарання разрывае некаторыя сувязі Si-H і NH, а вызвалены H яшчэ больш узмацняе пасівацыю батарэі.
Паколькі крамянёвыя матэрыялы фотаэлектрычнага класа непазбежна ўтрымліваюць вялікую колькасць прымешак і дэфектаў, тэрмін службы нязначных носьбітаў і даўжыня дыфузіі ў крэмніі памяншаюцца, што прыводзіць да зніжэння эфектыўнасці пераўтварэння батарэі. H можа ўступаць у рэакцыю з дэфектамі або прымешкамі ў крэмніі, тым самым пераводзячы зону энергіі ў забароненай зоне ў валентную зону або зону праводнасці.
1. Прынцып PECVD
Сістэма PECVD - гэта серыя генератараў з выкарыстаннемГрафітавая лодка PECVD і высокачашчынных узбуджальнікаў плазмы. Генератар плазмы ўсталяваны непасрэдна ў сярэдзіне пласціны пакрыцця для рэакцыі пры нізкім ціску і падвышанай тэмпературы. У якасці актыўных газаў выкарыстоўваюцца сілан SiH4 і аміяк NH3. Гэтыя газы дзейнічаюць на нітрыд крэмнія, які захоўваецца на крамянёвай пласціне. Розныя паказчыкі праламлення можна атрымаць, змяняючы суадносіны сілану і аміяку. Падчас працэсу нанясення ўтвараецца вялікая колькасць атамаў вадароду і іёнаў вадароду, што робіць пасівацыю пласціны вадародам вельмі добрай. У вакууме і тэмпературы навакольнага асяроддзя 480 градусаў Цэльсія пласт SixNy наносіцца на паверхню крамянёвай пласціны шляхам правядзенняГрафітавая лодка PECVD.
3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2
2. Si3N4
Колер плёнкі Si3N4 змяняецца з яе таўшчынёй. Як правіла, ідэальная таўшчыня складае ад 75 да 80 нм, што выглядае цёмна-сінім. Паказчык праламлення плёнкі Si3N4 лепш за ўсё знаходзіцца ў межах ад 2,0 да 2,5. Спірт звычайна выкарыстоўваецца для вымярэння яго паказчыка праламлення.
Выдатны эфект пасіўацыі паверхні, эфектыўнае аптычнае антыбліканне (адпаведнасць паказчыка праламлення па таўшчыні), нізкатэмпературны працэс (эфектыўнае зніжэнне выдаткаў) і генераваныя іёны H пасіўуюць паверхню крамянёвай пласціны.
3. Агульныя справы ў цэху нанясення пакрыццяў
Таўшчыня плёнкі:
Час нанясення адрозніваецца для рознай таўшчыні плёнкі. Час нанясення неабходна адпаведным чынам павялічваць або памяншаць у залежнасці ад колеру пакрыцця. Калі плёнка бялёсая, час нанясення варта скараціць. Калі ён чырванаваты, яго варта адпаведным чынам павялічыць. Кожная лодка плёнкі павінна быць цалкам пацверджана, і дэфектная прадукцыя не павінна пераходзіць у наступны працэс. Напрыклад, калі пакрыццё дрэннае, напрыклад, каляровыя плямы і вадзяныя знакі, найбольш распаўсюджанае адбельванне паверхні, каляровую розніцу і белыя плямы на вытворчай лініі трэба своечасова вылучыць. Адбельванне паверхні ў асноўным выклікана тоўстай плёнкай нітрыду крэмнію, якую можна рэгуляваць, рэгулюючы час нанясення плёнкі; розніца ў колеры плёнкі ў асноўным выклікана блакаваннем газавага шляху, уцечкай кварцавай трубкі, няспраўнасцю мікрахвалевай печы і г.д.; белыя плямы ў асноўным выкліканы невялікімі чорнымі плямамі ў папярэднім працэсе. Маніторынг адбівальнай здольнасці, паказчыка праламлення і інш., бяспекі спецыяльных газаў і інш.
Белыя плямы на паверхні:
PECVD - гэта адносна важны працэс у сонечных батарэях і важны паказчык эфектыўнасці сонечных батарэй кампаніі. Працэс PECVD звычайна заняты, і кожную партыю клетак трэба кантраляваць. Існуе мноства труб печы для пакрыцця, і кожная труба звычайна мае сотні ячэек (у залежнасці ад абсталявання). Пасля змены параметраў працэсу цыкл праверкі доўгі. Тэхналогія нанясення пакрыццяў - гэта тэхналогія, якой уся фотаэлектрычная прамысловасць надае вялікае значэнне. Эфектыўнасць сонечных батарэй можа быць палепшана шляхам удасканалення тэхналогіі пакрыццяў. У будучыні тэхналогія паверхні сонечных батарэй можа стаць прарывам у тэарэтычнай эфектыўнасці сонечных батарэй.
Час публікацыі: 23 снежня 2024 г