تضمن شركة vet-china أن كل منتج متينمجداف التعامل مع رقاقة كربيد السيليكونلديه الأداء الممتاز والمتانة. يستخدم مجداف التعامل مع رقاقة كربيد السيليكون عمليات تصنيع متقدمة لضمان بقاء استقراره الهيكلي ووظيفته في بيئات درجة الحرارة المرتفعة والتآكل الكيميائي. يوفر هذا التصميم المبتكر دعمًا ممتازًا للتعامل مع رقائق أشباه الموصلات، خاصة للعمليات الآلية عالية الدقة.
مجداف ناتئ SiCهو مكون متخصص يستخدم في معدات تصنيع أشباه الموصلات مثل فرن الأكسدة، وفرن الانتشار، وفرن التلدين، والاستخدام الرئيسي هو لتحميل وتفريغ الرقاقات، ودعم ونقل الرقاقات أثناء العمليات ذات درجة الحرارة العالية.
الهياكل المشتركةلكربيد كربيدcمضاد للأبدpدمن: عادةً ما يكون للهيكل الكابولي، المثبت من أحد طرفيه والمجاني من الطرف الآخر، تصميم مسطح وشبيه بالمجداف.
عملpمبدألكربيد كربيدcمضاد للأبدpدمن:
يمكن للمجداف الكابولي أن يتحرك لأعلى ولأسفل أو للخلف وللأمام داخل غرفة الفرن، ويمكن استخدامه لنقل الرقائق من مناطق التحميل إلى مناطق المعالجة، أو خارج مناطق المعالجة، لدعم وتثبيت الرقائق أثناء المعالجة بدرجة حرارة عالية.
الخصائص الفيزيائية لكربيد السيليكون المعاد بلورته | |
ملكية | القيمة النموذجية |
درجة حرارة العمل (درجة مئوية) | 1600 درجة مئوية (مع الأكسجين)، 1700 درجة مئوية (تقليل البيئة) |
محتوى كربيد السيليكون | > 99.96% |
محتوى سي مجاني | <0.1% |
الكثافة الظاهرية | 2.60-2.70 جم/سم33 |
المسامية الظاهرة | < 16% |
قوة الضغط | > 600 ميجا باسكال |
قوة الانحناء الباردة | 80-90 ميجا باسكال (20 درجة مئوية) |
قوة الانحناء الساخنة | 90-100 ميجا باسكال (1400 درجة مئوية) |
التمدد الحراري عند 1500 درجة مئوية | 4.70 10-6/ درجة مئوية |
الموصلية الحرارية عند 1200 درجة مئوية | 23 واط/م•ك |
معامل مرن | 240 جيجا |
مقاومة الصدمات الحرارية | جيد للغاية |