المتقدممجداف ناتئ SiCتوفر معالجة الرقاقات التي أنشأتها شركة vet-china حلاً ممتازًا لتصنيع أشباه الموصلات. هذا المجداف الكابولي مصنوع من مادة SiC (كربيد السيليكون)، كما أن صلابته العالية ومقاومته للحرارة تمكنه من الحفاظ على أداء ممتاز في درجات الحرارة العالية والبيئات المسببة للتآكل. يسمح تصميم المجداف الكابولي بدعم الرقاقة بشكل موثوق أثناء المعالجة، مما يقلل من خطر التجزئة والتلف.
مجداف ناتئ SiCهو مكون متخصص يستخدم في معدات تصنيع أشباه الموصلات مثل فرن الأكسدة، وفرن الانتشار، وفرن التلدين، والاستخدام الرئيسي هو لتحميل وتفريغ الرقاقات، ودعم ونقل الرقاقات أثناء العمليات ذات درجة الحرارة العالية.
الهياكل المشتركةلكربيد كربيدcمضاد للأبدpدمن: عادةً ما يكون للهيكل الكابولي، المثبت من أحد طرفيه والمجاني من الطرف الآخر، تصميم مسطح وشبيه بالمجداف.
تستخدم VET Energy مواد كربيد السيليكون المعاد بلورتها عالية النقاء لضمان الجودة.
| الخصائص الفيزيائية لكربيد السيليكون المعاد بلورته | |
| ملكية | القيمة النموذجية |
| درجة حرارة العمل (درجة مئوية) | 1600 درجة مئوية (مع الأكسجين)، 1700 درجة مئوية (تقليل البيئة) |
| محتوى كربيد السيليكون | > 99.96% |
| محتوى سي مجاني | <0.1% |
| الكثافة الظاهرية | 2.60-2.70 جم/سم33 |
| المسامية الظاهرة | < 16% |
| قوة الضغط | > 600MPa |
| قوة الانحناء الباردة | 80-90 ميجا باسكال (20 درجة مئوية) |
| قوة الانحناء الساخنة | 90-100 ميجا باسكال (1400 درجة مئوية) |
| التمدد الحراري عند 1500 درجة مئوية | 4.70 10-6/ درجة مئوية |
| الموصلية الحرارية عند 1200 درجة مئوية | 23ث/م•ك |
| معامل مرن | 240 جيجا |
| مقاومة الصدمات الحرارية | جيد للغاية |
مزايا المجذاف الكابولي المتقدم من شركة VET Energy لمعالجة الرقاقات هي:
-ثبات درجة الحرارة العالية: يمكن استخدامه في البيئات التي تزيد درجة حرارتها عن 1600 درجة مئوية؛
- معامل تمدد حراري منخفض: يحافظ على ثبات الأبعاد، مما يقلل من مخاطر التواء الرقاقة؛
-نقاوة عالية: انخفاض خطر التلوث بالمعادن؛
-الخمول الكيميائي: مقاوم للتآكل، ومناسب لبيئات الغاز المختلفة؛
- قوة وصلابة عالية: مقاومة للاهتراء، عمر خدمة طويل؛
- التوصيل الحراري الجيد: يساعد في تسخين الويفر بشكل موحد.
