1. الاعتراف قبل التنظيف
1) عندماقارب الجرافيت PECVD/ يتم استخدام الناقل أكثر من 100 إلى 150 مرة، ويحتاج المشغل إلى التحقق من حالة الطلاء في الوقت المناسب. إذا كان هناك طلاء غير طبيعي، فيجب تنظيفه وتأكيده. لون الطلاء الطبيعي لرقاقة السيليكون في قارب/حامل الجرافيت هو اللون الأزرق. إذا كانت الرقاقة تحتوي على ألوان غير زرقاء أو متعددة، أو كان اختلاف اللون بين الرقاقات كبيرًا، فهذا طلاء غير طبيعي، ويجب تأكيد سبب الشذوذ في الوقت المناسب.
2) بعد قيام العاملين بتحليل حالة الطلاءقارب الجرافيت PECVD/ الناقل، سيحددون ما إذا كان قارب الجرافيت بحاجة إلى التنظيف وما إذا كانت نقطة البطاقة بحاجة إلى الاستبدال، وسيتم تسليم قارب / حامل الجرافيت الذي يحتاج إلى التنظيف إلى موظفي المعدات للتنظيف.
3) بعدقارب الجرافيت/ الناقل تالف، سيقوم موظفو الإنتاج بإخراج جميع رقائق السيليكون الموجودة في قارب الجرافيت واستخدام CDA (الهواء المضغوط) لفرز الأجزاء الموجودة في القاربقارب الجرافيت. بعد الانتهاء، سيقوم موظفو المعدات برفعه إلى خزان الحمض الذي تم إعداده بنسبة معينة من محلول HF للتنظيف.
2. تنظيف قارب الجرافيت
يوصى باستخدام محلول حمض الهيدروفلوريك بنسبة 15-25% لثلاث جولات من التنظيف، مدة كل منها 4-5 ساعات، وغلي النيتروجين بشكل دوري أثناء عملية النقع والتنظيف، وإضافة حوالي نصف ساعة من التنظيف؛ ملاحظة: لا ينصح باستخدام الهواء مباشرة كمصدر للغاز للفقاعات. بعد التخليل، اشطفه بالماء النقي لمدة 10 ساعات تقريبًا، وتأكد من تنظيف القارب جيدًا. بعد التنظيف، يرجى التحقق من سطح القارب ونقطة بطاقة الجرافيت ومفاصل لوح القارب والأجزاء الأخرى لمعرفة ما إذا كان هناك أي بقايا من نيتريد السيليكون. ثم تجفف حسب المتطلبات.
3. احتياطات التنظيف
أ) بما أن حمض HF مادة شديدة التآكل ولها درجة معينة من التطاير، فهي تشكل خطراً على المشغلين. ولذلك، يجب على المشغلين في مركز التنظيف اتخاذ احتياطات السلامة وأن تتم إدارتها من قبل شخص مخصص.
ب) يوصى بتفكيك القارب وتنظيف جزء الجرافيت فقط أثناء التنظيف، بحيث يمكن تنظيف كل جزء تلامس بشكل أكثر دقة. في الوقت الحاضر، يستخدم العديد من الشركات المصنعة المحلية التنظيف الشامل، وهو أمر مريح، ولكن نظرًا لأن حمض HF يسبب تآكلًا لأجزاء السيراميك، فإن التنظيف الشامل سيقلل من عمر خدمة الأجزاء المقابلة.
وقت النشر: 23 ديسمبر 2024