الطبيب البيطري الصينسيراميك كربيد السيليكونالطلاء عبارة عن طبقة واقية عالية الأداء مصنوعة من مواد صلبة للغاية ومقاومة للاهتراءكربيد السيليكون (SiC)المواد التي توفر مقاومة ممتازة للتآكل الكيميائي واستقرار درجات الحرارة العالية. هذه الخصائص حاسمة في إنتاج أشباه الموصلاتطلاء سيراميك كربيد السيليكونيستخدم على نطاق واسع في المكونات الرئيسية لمعدات تصنيع أشباه الموصلات.
الدور المحدد للطبيب البيطري في الصينسيراميك كربيد السيليكونالطلاء في إنتاج أشباه الموصلات هو كما يلي:
تعزيز متانة المعدات:طلاء سيراميك كربيد السيليكون يوفر طلاء سيراميك كربيد السيليكون حماية ممتازة لسطح معدات تصنيع أشباه الموصلات بفضل صلابته العالية للغاية ومقاومته للتآكل. خاصة في بيئات العمليات ذات درجات الحرارة العالية والتآكل الشديد، مثل ترسيب البخار الكيميائي (CVD) وحفر البلازما، يمكن للطلاء أن يمنع بشكل فعال سطح المعدات من التلف بسبب التآكل الكيميائي أو التآكل المادي، وبالتالي إطالة عمر خدمة المعدات بشكل كبير المعدات وتقليل وقت التوقف عن العمل الناجم عن الاستبدال والإصلاح المتكرر.
تحسين نقاء العملية:في عملية تصنيع أشباه الموصلات، قد يؤدي التلوث الصغير إلى حدوث عيوب في المنتج. الخمول الكيميائي لطلاء سيراميك كربيد السيليكون يسمح له بالبقاء مستقرًا في ظل الظروف القاسية، مما يمنع المادة من إطلاق الجسيمات أو الشوائب، وبالتالي ضمان النقاء البيئي للعملية. وهذا مهم بشكل خاص لخطوات التصنيع التي تتطلب دقة عالية ونظافة عالية، مثل PECVD وزرع الأيونات.
تحسين الإدارة الحرارية:في معالجة أشباه الموصلات ذات درجة الحرارة العالية، مثل المعالجة الحرارية السريعة (RTP) وعمليات الأكسدة، تتيح الموصلية الحرارية العالية لطلاء سيراميك كربيد السيليكون توزيعًا موحدًا لدرجة الحرارة داخل المعدات. وهذا يساعد على تقليل الإجهاد الحراري وتشوه المواد الناتج عن تقلبات درجات الحرارة، وبالتالي تحسين دقة تصنيع المنتج واتساقه.
دعم بيئات العمليات المعقدة:في العمليات التي تتطلب تحكمًا معقدًا في الجو، مثل عمليات النقش ICP والحفر PSS، تضمن مقاومة الثبات والأكسدة لطلاء السيراميك من كربيد السيليكون احتفاظ الجهاز بأداء مستقر في التشغيل طويل المدى، مما يقلل من خطر تدهور المواد أو تلف المعدات بسبب للتغيرات البيئية.
| الأمراض القلبية الوعائية SiCهذا هو السبب في ذلك الخصائص الفيزيائية الأساسية لـ CVD SiCطلاء | |
| 性质 / ملكية | 典型数值 / القيمة النموذجية |
| شكرا جزيلا / الهيكل البلوري | المرحلة FCC β多晶,主要为(111) 取向 |
| 密度 / كثافة | 3.21 جم/سم3 |
| نعم / صلابة | 2500 ميكروغرام (حمولة 500 جرام) |
| شكرا جزيلا / حجم الحبوب | 2 ~ 10 ميكرومتر |
| نعم / النقاء الكيميائي | 99.99995% |
| 热容 / السعة الحرارية | 640 جول·كجم-1· ك-1 |
| 升华温度 / درجة حرارة التسامي | 2700 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / قوة الانثناء | 415 ميجا باسكال RT 4 نقاط |
| 杨氏模量 / معامل يونغ | 430 جيجا باسكال 4pt منحنى، 1300 درجة مئوية |
| شكرا جزيلا / ثيرمالالموصلية | 300 واط · م-1· ك-1 |
| هذا هو الحال / التمدد الحراري (CTE) | 4.5×10-6K-1 |
أرحب بكم ترحيبا حارا لزيارة المصنع، دعونا نجري مزيدا من المناقشة!
