8 Inch P Iru Silicon Wafer lati VET Energy jẹ ohun elo ohun alumọni ti o ga julọ ti a ṣe apẹrẹ fun ọpọlọpọ awọn ohun elo semikondokito, pẹlu awọn sẹẹli oorun, awọn ẹrọ MEMS, ati awọn iyika iṣọpọ. Ti a mọ fun adaṣe itanna ti o dara julọ ati iṣẹ ṣiṣe deede, wafer yii jẹ yiyan ti o fẹ fun awọn aṣelọpọ n wa lati ṣe agbejade awọn paati itanna ti o gbẹkẹle ati lilo daradara. Agbara VET ṣe idaniloju awọn ipele doping deede ati ipari dada ti o ga julọ fun iṣelọpọ ẹrọ ti o dara julọ.
Awọn wọnyi 8 Inch P Iru Silicon Wafers wa ni ibamu ni kikun pẹlu ọpọlọpọ awọn ohun elo bii SiC Substrate, SOI Wafer, SiN Substrate, ati pe o dara fun idagbasoke Epi Wafer, ni idaniloju iyipada fun awọn ilana iṣelọpọ semikondokito to ti ni ilọsiwaju. Awọn wafers tun le ṣee lo ni apapo pẹlu awọn ohun elo imọ-giga miiran bi Gallium Oxide Ga2O3 ati AlN Wafer, ṣiṣe wọn ni apẹrẹ fun awọn ohun elo itanna ti o tẹle. Apẹrẹ ti o lagbara wọn tun baamu ni aipe sinu awọn ọna ṣiṣe ti o da lori Cassette, ni idaniloju imudara iṣelọpọ ati iwọn didun giga.
Agbara VET n pese awọn alabara pẹlu awọn solusan wafer ti adani. A le ṣe awọn wafers pẹlu oriṣiriṣi resistivity, akoonu atẹgun, sisanra, bbl gẹgẹbi awọn iwulo pato ti awọn alabara. Ni afikun, a tun pese atilẹyin imọ-ẹrọ ọjọgbọn ati iṣẹ-tita lẹhin-tita lati ṣe iranlọwọ fun awọn alabara lati yanju awọn iṣoro pupọ ti o pade lakoko ilana iṣelọpọ.
WAFERING ni pato
*n-Pm=n-iru Pm-Grade,n-Ps=n-iru Ps-Grade,Sl=Ogbede-lnsulating
Nkan | 8-inch | 6-inch | 4-inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
TTV(GBIR) | ≤6um | ≤6um | |||
Teriba (GF3YFCD) -Iye to peye | ≤15μm | ≤15μm | ≤25μm | ≤15μm | |
Warp(GF3YFER) | ≤25μm | ≤25μm | ≤40μm | ≤25μm | |
LTV (SBIR) -10mmx10mm | <2μm | ||||
Wafer eti | Beveling |
Ipari dada
*n-Pm=n-iru Pm-Grade,n-Ps=n-iru Ps-Grade,Sl=Ogbede-lnsulating
Nkan | 8-inch | 6-inch | 4-inch | ||
nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
Dada Ipari | Polish Optical ẹgbẹ meji, Si- Face CMP | ||||
SurfaceRoughness | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0.2nm | (5umx5um) Si-Face Ra≤0.2nm | |||
Awọn eerun eti | Ko si Gbigbanilaaye (ipari ati iwọn≥0.5mm) | ||||
Indents | Ko si Iyọọda | ||||
Awọn idọti (Si-Face) | Qty.≤5, Akopọ | Qty.≤5, Akopọ | Qty.≤5, Akopọ | ||
Awọn dojuijako | Ko si Iyọọda | ||||
Iyasoto eti | 3mm |