vet-china giới thiệu Thuyền & Bệ wafer cột dọc cải tiến, một giải pháp toàn diện để xử lý chất bán dẫn tiên tiến. Được thiết kế với độ chính xác tỉ mỉ, hệ thống xử lý tấm bán dẫn này mang lại sự ổn định và liên kết chưa từng có, rất quan trọng đối với môi trường sản xuất hiệu quả cao.
Thuyền & Bệ wafer cột dọc được chế tạo bằng vật liệu cao cấp đảm bảo độ ổn định nhiệt và khả năng chống ăn mòn hóa học, khiến nó phù hợp với các quy trình chế tạo chất bán dẫn đòi hỏi khắt khe nhất. Thiết kế cột dọc độc đáo của nó hỗ trợ các tấm bán dẫn một cách an toàn, giảm nguy cơ sai lệch và hư hỏng tiềm ẩn trong quá trình vận chuyển và xử lý.
Với sự tích hợp của Bệ & Thuyền wafer cột dọc của Vet-china, các nhà sản xuất chất bán dẫn có thể mong đợi sản lượng được cải thiện, giảm thiểu thời gian ngừng hoạt động và tăng năng suất sản phẩm. Hệ thống này tương thích với nhiều kích cỡ và cấu hình wafer khác nhau, mang lại sự linh hoạt và khả năng mở rộng cho các nhu cầu sản xuất khác nhau.
Cam kết về sự xuất sắc của vet-china đảm bảo rằng mỗi Thuyền & Bệ wafer Cột Dọc đều đáp ứng các tiêu chuẩn cao nhất về chất lượng và hiệu suất. Bằng cách chọn giải pháp tiên tiến này, bạn đầu tư vào một phương pháp xử lý tấm bán dẫn phù hợp với tương lai nhằm tối đa hóa hiệu quả và độ tin cậy trong sản xuất chất bán dẫn.
Tính chất của cacbua silic kết tinh lại
Cacbua silic kết tinh (R-SiC) là vật liệu hiệu suất cao có độ cứng chỉ đứng sau kim cương, được hình thành ở nhiệt độ cao trên 2000oC. Nó giữ lại nhiều đặc tính tuyệt vời của SiC, như độ bền nhiệt độ cao, khả năng chống ăn mòn mạnh, khả năng chống oxy hóa tuyệt vời, khả năng chống sốc nhiệt tốt, v.v.
● Tính chất cơ học tuyệt vời. Cacbua silic kết tinh có độ bền và độ cứng cao hơn sợi carbon, khả năng chống va đập cao, có thể hoạt động tốt trong môi trường nhiệt độ khắc nghiệt, có thể hoạt động đối trọng tốt hơn trong nhiều tình huống khác nhau. Ngoài ra, nó còn có tính linh hoạt tốt và không dễ bị hư hỏng do kéo giãn và uốn cong, giúp cải thiện đáng kể hiệu suất của nó.
● Khả năng chống ăn mòn cao. Cacbua silic kết tinh có khả năng chống ăn mòn cao đối với nhiều loại vật liệu, có thể ngăn chặn sự ăn mòn của nhiều loại vật liệu ăn mòn, có thể duy trì tính chất cơ học trong thời gian dài, có độ bám dính mạnh nên có tuổi thọ cao hơn. Ngoài ra, nó còn có độ ổn định nhiệt tốt, có thể thích ứng với một phạm vi thay đổi nhiệt độ nhất định, cải thiện hiệu quả ứng dụng.
● Quá trình thiêu kết không co lại. Do quá trình thiêu kết không co lại, không có ứng suất dư sẽ gây biến dạng hoặc nứt sản phẩm, có thể chế tạo được các bộ phận có hình dạng phức tạp và độ chính xác cao.
| 重结晶碳化硅物理特性 Tính chất vật lý của cacbua silic kết tinh | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 使用温度/ Nhiệt độ làm việc (° C) | 1600°C (có oxy), 1700°C (môi trường khử) |
| SiC含量/ Nội dung SiC | > 99,96% |
| 自由Si含量/ Nội dung Si miễn phí | < 0,1% |
| 体积密度/Mật độ lớn | 2,60-2,70 g/cm33 |
| 气孔率/ Độ xốp biểu kiến | < 16% |
| 抗压强度/ Cường độ nén | > 600MPa |
| 常温抗弯强度/Độ bền uốn nguội | 80-90 MPa (20°C) |
| 高温抗弯强度Độ bền uốn nóng | 90-100 MPa (1400°C) |
| 热膨胀系数/ Giãn nở nhiệt @1500°C | 4,70 10-6/°C |
| 导热系数/Độ dẫn nhiệt @1200°C | 23W/m·K |
| 杨氏模量/ Mô đun đàn hồi | 240 GPa |
| 抗热震性/ Chống sốc nhiệt | Cực kỳ tốt |
Năng lượng VET là cáinhà sản xuất thực sự của các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với lớp phủ CVD,có thể cung cấpnhiềucác bộ phận tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện. OĐội ngũ kỹ thuật của bạn đến từ các tổ chức nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơndành cho bạn.
Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn,Vàđã phát triển một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, có thể làm cho mối liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt hơn và ít bị bong ra hơn.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 晶体结构 / Cấu trúc tinh thể | Giai đoạn FCC多晶, 主要为（111)取向 |
| 密度 / Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Công suất nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa | 2700oC |
| 抗弯强度 / Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 / Mô đun của Young | Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC |
| 导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Nhiệt liệt chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!
