Vet-Trung QuốcGốm silic cacbuaLớp phủ là lớp phủ bảo vệ hiệu suất cao được làm bằng vật liệu cực kỳ cứng và chống mài mòncacbua silic (SiC)vật liệu có khả năng chống ăn mòn hóa học tuyệt vời và ổn định nhiệt độ cao. Những đặc điểm này rất quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn, vì vậyLớp phủ gốm silicon cacbuađược sử dụng rộng rãi trong các thành phần chính của thiết bị sản xuất chất bán dẫn.
Vai trò cụ thể của Vet-ChinaGốm silic cacbuaLớp phủ trong sản xuất chất bán dẫn như sau:
Tăng cường độ bền thiết bị:Lớp phủ gốm cacbua silic Lớp phủ gốm cacbua silic cung cấp khả năng bảo vệ bề mặt tuyệt vời cho các thiết bị sản xuất chất bán dẫn với độ cứng và khả năng chống mài mòn cực cao. Đặc biệt trong môi trường xử lý nhiệt độ cao và có tính ăn mòn cao, chẳng hạn như lắng đọng hơi hóa học (CVD) và khắc plasma, lớp phủ có thể ngăn chặn hiệu quả bề mặt của thiết bị khỏi bị hư hỏng do xói mòn hóa học hoặc mài mòn vật lý, từ đó kéo dài đáng kể tuổi thọ của thiết bị. thiết bị và giảm thời gian ngừng hoạt động do thay thế và sửa chữa thường xuyên.
Cải thiện độ tinh khiết của quá trình:Trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, sự nhiễm bẩn nhỏ có thể gây ra lỗi sản phẩm. Tính trơ hóa học của Lớp phủ gốm cacbua silic cho phép nó duy trì ổn định trong các điều kiện khắc nghiệt, ngăn vật liệu giải phóng các hạt hoặc tạp chất, từ đó đảm bảo quá trình làm sạch môi trường. Điều này đặc biệt quan trọng đối với các bước sản xuất đòi hỏi độ chính xác cao và độ sạch cao, chẳng hạn như PECVD và cấy ion.
Tối ưu hóa quản lý nhiệt:Trong quá trình xử lý chất bán dẫn ở nhiệt độ cao, chẳng hạn như quá trình xử lý nhiệt nhanh (RTP) và quá trình oxy hóa, độ dẫn nhiệt cao của Lớp phủ gốm cacbua silic cho phép phân bổ nhiệt độ đồng đều bên trong thiết bị. Điều này giúp giảm ứng suất nhiệt và biến dạng vật liệu do biến động nhiệt độ, từ đó cải thiện độ chính xác và tính nhất quán trong sản xuất sản phẩm.
Hỗ trợ các môi trường quy trình phức tạp:Trong các quy trình yêu cầu kiểm soát khí quyển phức tạp, chẳng hạn như quy trình ăn mòn ICP và ăn mòn PSS, độ ổn định và khả năng chống oxy hóa của Lớp phủ gốm cacbua silic đảm bảo rằng thiết bị duy trì hiệu suất ổn định khi vận hành lâu dài, giảm nguy cơ xuống cấp vật liệu hoặc hư hỏng thiết bị do đến những thay đổi của môi trường.
| CVD SiC薄膜基本物理性能 Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ | |
| 性质 / Tài sản | 典型数值 / Giá trị điển hình |
| 晶体结构 / Cấu trúc tinh thể | Giai đoạn FCC多晶, 主要为（111)取向 |
| 密度 / Tỉ trọng | 3,21 g/cm³ |
| 硬度 / Độ cứng | 2500 维氏硬度(tải 500g) |
| 晶粒大小 / Kích thước hạt | 2 ~ 10μm |
| 纯度 / Độ tinh khiết hóa học | 99,99995% |
| 热容 / Công suất nhiệt | 640 J·kg-1·K-1 |
| 升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa | 2700oC |
| 抗弯强度 / Độ bền uốn | 415 MPa RT 4 điểm |
| 杨氏模量 / Mô đun của Young | Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC |
| 导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện | 300W·m-1·K-1 |
| 热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE) | 4,5×10-6K-1 |
Nhiệt liệt chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!
