Phần nửa vầng than chì được phủ SiC cho thiết bị epiticular silic cacbua

Mô tả ngắn gọn:

Giới thiệu và sử dụng sản phẩm: Ống thạch anh nối liền, có thể truyền khí dẫn động đế khay quay, điều khiển nhiệt độ

Vị trí thiết bị của sản phẩm: trong buồng phản ứng, không tiếp xúc trực tiếp với wafer

Sản phẩm hạ nguồn chính: thiết bị điện

Thị trường thiết bị đầu cuối chính: phương tiện năng lượng mới

 


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Phần Halfmoon than chì phủ SiCis a chìa khóathành phần được sử dụng trong quá trình sản xuất chất bán dẫn, đặc biệt là thiết bị epiticular SiC.Chúng tôi sử dụng công nghệ đã được cấp bằng sáng chế của mình để tạo ra bộ phận bán nguyệt vớiđộ tinh khiết cực cao,Tốtlớp phủtính đồng nhấtvà tuổi thọ sử dụng tuyệt vời, cũng nhưtính kháng hóa chất cao và tính ổn định nhiệt.

Năng lượng VET là cáinhà sản xuất thực sự của các sản phẩm than chì và cacbua silic tùy chỉnh với lớp phủ CVD,có thể cung cấpnhiềucác bộ phận tùy chỉnh cho ngành công nghiệp bán dẫn và quang điện. OĐội ngũ kỹ thuật của bạn đến từ các tổ chức nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơndành cho bạn.

Chúng tôi liên tục phát triển các quy trình tiên tiến để cung cấp các vật liệu tiên tiến hơn,đã phát triển một công nghệ độc quyền được cấp bằng sáng chế, có thể làm cho mối liên kết giữa lớp phủ và chất nền chặt hơn và ít bị bong ra hơn.

Făn các sản phẩm của chúng tôi:

1. Khả năng chống oxy hóa ở nhiệt độ cao lên tới 1700oC.
2. Độ tinh khiết cao vàđộ đồng đều nhiệt
3. Khả năng chống ăn mòn tuyệt vời: thuốc thử axit, kiềm, muối và hữu cơ.
4. Độ cứng cao, bề mặt nhỏ gọn, hạt mịn.
5. Tuổi thọ dài hơn và bền hơn

CVD SiC薄膜基本物理性能

Tính chất vật lý cơ bản của CVD SiClớp phủ

性质 / Tài sản

典型数值 / Giá trị điển hình

晶体结构 / Cấu trúc tinh thể

Giai đoạn FCC多晶, 主要为(111)取向

密度 / Tỉ trọng

3,21 g/cm³

硬度 / Độ cứng

2500 维氏硬度(tải 500g)

晶粒大小 / Kích thước hạt

2 ~ 10μm

纯度 / Độ tinh khiết hóa học

99,99995%

热容 / Công suất nhiệt

640 J·kg-1·K-1

升华温度 / Nhiệt độ thăng hoa

2700oC

抗弯强度 / Độ bền uốn

415 MPa RT 4 điểm

杨氏模量 / Mô đun của Young

Uốn cong 430 Gpa 4pt, 1300oC

导热系数 / NhiệttôiĐộ dẫn điện

300W·m-1·K-1

热膨胀系数 / Giãn nở nhiệt(CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Nhiệt liệt chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Trò chuyện trực tuyến WhatsApp!