Tấm cảm ứng được phủ CVD TaC

Mô tả ngắn gọn:

Tấm nhạy cảm phủ CVD TaC của VET Energy là sản phẩm hiệu suất cao được thiết kế để mang lại hiệu suất ổn định và đáng tin cậy trong thời gian dài. Nó có khả năng chịu nhiệt siêu tốt và độ đồng đều nhiệt, độ tinh khiết cao, khả năng chống xói mòn, khiến nó trở thành giải pháp hoàn hảo cho các ứng dụng xử lý wafer.


Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

cácCVD TaC trángTấm nhạy cảm từ vet-china được thiết kế để mang lại hiệu suất cao trong các quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD). Chất nhạy cảm này có tính năng mạnh mẽLớp phủ TaC (Tantalum cacbua), mang lại độ ổn định nhiệt, kháng hóa chất và độ bền đặc biệt, khiến nó trở thành giải pháp lý tưởng cho sản xuất chất bán dẫn và các ứng dụng nhiệt độ cao. cácLớp phủ CVD TaCđảm bảo khả năng chống oxy hóa và mài mòn tuyệt vời, cho phép bộ phận nhạy cảm duy trì tính toàn vẹn và hoạt động trong môi trường khắc nghiệt.

bác sĩ thú y Trung QuốcCVD TaC trángPlate Susceptor nổi bật nhờ khả năng phân bổ nhiệt đều trong quá trình CVD, đảm bảo sự lắng đọng lớp chính xác và nâng cao hiệu quả chế tạo chất bán dẫn. Lớp phủ Ta-C cung cấp khả năng bảo vệ bổ sung chống ăn mòn hóa học, kéo dài tuổi thọ của bộ phận cảm biến và cải thiện hiệu suất tổng thể. Với sự kết hợp giữa công nghệ cảm biến CVD tiên tiến và lớp phủ hóa học TaC chất lượng cao, cảm biến này là thành phần chính cho các ngành công nghiệp đòi hỏi độ chính xác và độ tin cậy trong môi trường nhiệt độ cao.

Dù được sử dụng trong sản xuất chất bán dẫn hay các ứng dụng công nghệ cao khác,Chất nhạy cảm tấm phủ CVD TaCđược thiết kế để đáp ứng nhu cầu sản xuất hiện đại. Được hỗ trợ bởi danh tiếng của Semicera về sự đổi mới và chất lượng, sản phẩm này mang lại hiệu suất vượt trội và độ bền lâu dài, khiến nó trở thành lựa chọn đáng tin cậy cho các quy trình CVD.

Lớp phủ TaC là một loại lớp phủ tantalum cacbua (TaC) được điều chế bằng công nghệ lắng đọng hơi vật lý, nó có các đặc điểm sau:

1. Độ cứng cao: Độ cứng của lớp phủ TaC cao, thường có thể đạt 2500-3000HV, là lớp phủ cứng tuyệt vời.

2. Chống mài mòn: Lớp phủ TaC có khả năng chống mài mòn rất cao, có thể làm giảm hiệu quả sự mài mòn và hư hỏng của các bộ phận cơ khí trong quá trình sử dụng.

3. Khả năng chịu nhiệt độ cao tốt: Lớp phủ TaC cũng có thể duy trì hiệu suất tuyệt vời trong môi trường nhiệt độ cao.

4. Độ ổn định hóa học tốt: Lớp phủ TaC có độ ổn định hóa học tốt và có thể chống lại nhiều phản ứng hóa học như axit và bazơ.

Lớp phủ TaC13
Lớp phủ TaC10

碳化钽涂层物理特性物理特性

Tính chất vật lý của TaC lớp phủ

密度/ Tỉ trọng

14,3 (g/cm³)

比辐射率 / Độ phát xạ riêng

0,3

热膨胀系数 / Hệ số dãn nở nhiệt

6,3 10-6/K

努氏硬度/ Độ cứng (HK)

2000 HK

电阻 / Sức chống cự

1×10-5 Ohm*cm

热稳定性 / Ổn định nhiệt

<2500oC

石墨尺寸变化 / Thay đổi kích thước than chì

-10~-20um

涂层厚度 / Độ dày lớp phủ

≥20um giá trị điển hình (35um±10um)

Công ty TNHH Công nghệ Năng lượng VET Ninh Ba là một doanh nghiệp công nghệ cao tập trung vào sản xuất và kinh doanh các vật liệu tiên tiến cao cấp, vật liệu và công nghệ bao gồm than chì, cacbua silic, gốm sứ, xử lý bề mặt, v.v. Các sản phẩm được sử dụng rộng rãi trong quang điện, chất bán dẫn, năng lượng mới, luyện kim, v.v.

Đội ngũ kỹ thuật của chúng tôi đến từ các tổ chức nghiên cứu hàng đầu trong nước, có thể cung cấp các giải pháp vật liệu chuyên nghiệp hơn cho bạn.

Nhiệt liệt chào mừng bạn đến thăm nhà máy của chúng tôi, chúng ta hãy thảo luận thêm!

研发团队

生产设备

公司客户

 


  • Trước:
  • Kế tiếp:

  • Trò chuyện trực tuyến WhatsApp!