Chất nhạy cảm thùng cho Epit Wax pha lỏng LPE

Chất nhạy cảm dạng thùng cho epit Wax pha lỏng LPE

EPI (Epitaxy)là một quá trình quan trọng trong sản xuất chất bán dẫn tiên tiến. Nó liên quan đến việc lắng đọng các lớp vật liệu mỏng trên đế để tạo ra các cấu trúc thiết bị phức tạp. Chất nhạy cảm thùng than chì được phủ SiC cho EPI thường được sử dụng làm chất nhạy cảm trong lò phản ứng EPI do tính dẫn nhiệt tuyệt vời và khả năng chịu nhiệt độ cao. VớiLớp phủ CVD-SiC, nó trở nên có khả năng chống ô nhiễm, xói mòn và sốc nhiệt tốt hơn. Điều này dẫn đến tuổi thọ dài hơn cho thiết bị nhạy cảm và chất lượng phim được cải thiện.

Ưu điểm của chất nhạy cảm thùng của chúng tôi đối với LPE epit Wax pha lỏng:
Giảm ô nhiễm:Bản chất trơ của SiC ngăn không cho tạp chất bám vào bề mặt chất nhạy, giảm nguy cơ nhiễm bẩn màng lắng đọng.
Tăng khả năng chống xói mòn:SiC có khả năng chống xói mòn cao hơn đáng kể so với than chì thông thường, dẫn đến tuổi thọ dài hơn cho chất nhạy cảm.
Cải thiện độ ổn định nhiệt:SiC có tính dẫn nhiệt tuyệt vời và có thể chịu được nhiệt độ cao mà không bị biến dạng đáng kể.
Chất lượng phim nâng cao:Độ ổn định nhiệt được cải thiện và giảm ô nhiễm dẫn đến màng lắng đọng chất lượng cao hơn với độ đồng đều và kiểm soát độ dày được cải thiện.