Chất nhạy cảm thùng Epiticular Epi Graphite

Chất nhạy cảm thùng Epiticular Epi Graphite

Chất nhạy cảm thùng Epiticular Epi Graphitelà một thiết bị hỗ trợ và sưởi ấm được thiết kế đặc biệt dùng để giữ và làm nóng các chất nền bán dẫn trong quá trình sản xuất như quá trình lắng đọng hoặc Epitaxy.

Cấu trúc của nó thường bao gồm hình trụ hoặc hình hơi thùng, bề mặt có nhiều túi hoặc bệ để đặt các tấm wafer, có thể là thiết kế đặc hoặc rỗng, tùy thuộc vào phương pháp gia nhiệt.

Các chức năng chính của chất nhạy cảm thùng epiticular:

-Hỗ trợ nền tảng: giữ chắc chắn nhiều tấm bán dẫn;
-Nguồn nhiệt: cung cấp nhiệt độ cao cần thiết cho sự tăng trưởng thông qua sưởi ấm;
-Tính đồng nhất về nhiệt độ: đảm bảo sự gia nhiệt đồng đều của bề mặt;
-Rotation: thường quay trong quá trình tăng trưởng để cải thiện tính đồng nhất của nhiệt độ và phân bố khí.

Nguyên lý làm việc của chất nhạy cảm thùng than chì Epi:
- Trong lò phản ứng epiticular, chất nhạy cảm thùng được làm nóng đến nhiệt độ yêu cầu (thường là 1000oC -1200oC đối với epit Wax silicon);
-Bộ cảm biến thùng quay để đảm bảo phân bố nhiệt độ và lưu lượng khí đồng đều;
- Khí phản ứng phân hủy ở nhiệt độ cao, hình thành các lớp epitaxy trên bề mặt nền.

Ứng dụng:
-Chủ yếu được sử dụng để tăng trưởng epiticular silicon
-Cũng có thể áp dụng cho epitaxy của các vật liệu bán dẫn khác như GaAs, InP, v.v.

VET Energy sử dụng than chì có độ tinh khiết cao với lớp phủ CVD-SiC để tăng cường độ ổn định hóa học:

Những ưu điểm của Chất nhạy cảm Epiticular Epi Graphite Barrel VET:

-Ổn định nhiệt độ cao;
-Tính đồng đều nhiệt tốt;
-Có thể xử lý đồng thời nhiều chất nền, nâng cao hiệu quả sản xuất;
- Trơ về mặt hóa học, duy trì môi trường phát triển có độ tinh khiết cao.