Dòng sản phẩm của VET Energy không chỉ giới hạn ở GaN trên tấm bán dẫn SiC. Chúng tôi cũng cung cấp nhiều loại vật liệu nền bán dẫn, bao gồm Si wafer, SiC Substrate, SOI wafer, SiN Substrate, Epi wafer, v.v. Ngoài ra, chúng tôi cũng đang tích cực phát triển các vật liệu bán dẫn dải rộng mới, chẳng hạn như Gallium Oxide Ga2O3 và AlN Tấm wafer, để đáp ứng nhu cầu của ngành công nghiệp điện tử công suất trong tương lai về các thiết bị hiệu suất cao hơn.
VET Energy cung cấp các dịch vụ tùy chỉnh linh hoạt và có thể tùy chỉnh các lớp epiticular GaN với độ dày khác nhau, các loại pha tạp khác nhau và kích thước wafer khác nhau theo nhu cầu cụ thể của khách hàng. Ngoài ra, chúng tôi còn cung cấp dịch vụ hỗ trợ kỹ thuật và hậu mãi chuyên nghiệp để giúp khách hàng nhanh chóng phát triển các thiết bị điện tử công suất hiệu suất cao.
THÔNG SỐ KỸ THUẬT
*n-Pm=n-loại Pm-Cấp,n-Ps=n-loại Ps-Cấp,Sl=bán cách điện
| Mục | 8 inch | 6 inch | 4 inch | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| TTV(GBIR) | 6um | 6um | |||
| Cung(GF3YFCD)-Giá trị tuyệt đối | 15μm | 15μm | 25μm | 15μm | |
| Cong vênh (GF3YFER) | 25μm | 25μm | 40μm | 25μm | |
| LTV(SBIR)-10mmx10mm | <2μm | ||||
| cạnh wafer | vát mép | ||||
HOÀN THIỆN BỀ MẶT
*n-Pm=n-loại Pm-Cấp,n-Ps=n-loại Ps-Cấp,Sl=bán cách điện
| Mục | 8 inch | 6 inch | 4 inch | ||
| nP | n-Pm | n-Ps | SI | SI | |
| Hoàn thiện bề mặt | Đánh bóng quang học hai mặt,Si-Face CMP | ||||
| Độ nhám bề mặt | (10um x 10um) Si-FaceRa≤0,2nm | (5umx5um) Si-Mặt Ra<0.2nm | |||
| Chip cạnh | Không được phép (chiều dài và chiều rộng ≥0,5mm) | ||||
| Thụt lề | Không được phép | ||||
| Vết xước (Si-Mặt) | Số lượng.<5, Tích lũy | Số lượng.<5, Tích lũy | Số lượng.<5, Tích lũy | ||
| vết nứt | Không được phép | ||||
| Loại trừ cạnh | 3mm | ||||
