Осадження тонкої плівки полягає в нанесенні шару плівки на основний матеріал підкладки напівпровідника. Ця плівка може бути виготовлена з різних матеріалів, таких як ізоляційна сполука діоксид кремнію, напівпровідниковий полікремній, металева мідь тощо. Обладнання, що використовується для покриття, називається осадженням тонкої плівки...
Читати далі