Переважний матеріал для точних частин машин для фотолітографії У галузі напівпровідників керамічні матеріали з карбіду кремнію в основному використовуються в ключовому обладнанні для виробництва інтегральних схем, наприклад робочому столі з карбіду кремнію, напрямних рейках, відбивачах, керамічному всмоктуючому патроні, рукоятках, г...
Читати далі