Карбід кремніюце тверда сполука, що містить кремній і вуглець, і зустрічається в природі як надзвичайно рідкісний мінерал муасаніт. Частинки карбіду кремнію можна склеїти разом шляхом спікання з утворенням дуже твердої кераміки, яка широко використовується в додатках, що вимагають високої довговічності, особливо в напівпровідникових процесах.
Фізична структура SiC
Що таке покриття SiC?
Покриття SiC - це щільне, зносостійке покриття з карбіду кремнію з високою корозійно-термостійкістю та чудовою теплопровідністю. Це високочисте покриття SiC в основному використовується в напівпровідниковій та електронній промисловості для захисту пластин, основ і нагрівальних елементів від корозійних і реактивних середовищ. Покриття SiC також підходить для вакуумних печей і нагрівання зразків у високовакуумному, реактивному та кисневому середовищах.
Поверхня покриття SiC високої чистоти
Що таке процес покриття SiC?
Тонкий шар карбіду кремнію наноситься на поверхню підкладки за допомогоюCVD (хімічне осадження з парової фази). Осадження зазвичай здійснюється при температурах 1200-1300°C, і характеристика теплового розширення матеріалу підкладки повинна бути сумісною з покриттям SiC, щоб мінімізувати термічний стрес.
CVD SIC Coating FILM КРИСТАЛІЧНА СТРУКТУРА
Фізичні властивості покриття SiC в основному відображаються в його стійкості до високих температур, твердості, стійкості до корозії та теплопровідності.
Типові фізичні параметри зазвичай такі:
Твердість: покриття SiC зазвичай має твердість за Віккерсом у діапазоні 2000-2500 HV, що забезпечує їм надзвичайно високу зносостійкість і стійкість до ударів у промисловому застосуванні.
Щільність: Покриття SiC зазвичай мають щільність 3,1-3,2 г/см³. Висока щільність сприяє механічній міцності та довговічності покриття.
Теплопровідність: покриття SiC мають високу теплопровідність, як правило, в діапазоні 120-200 Вт/мК (при 20°C). Це забезпечує йому хорошу теплопровідність у середовищі з високою температурою та робить його особливо придатним для обладнання для термічної обробки в напівпровідниковій промисловості.
Температура плавлення: карбід кремнію має температуру плавлення приблизно 2730°C і має чудову термічну стабільність при екстремальних температурах.
Коефіцієнт теплового розширення: Покриття SiC мають низький лінійний коефіцієнт теплового розширення (КТР), як правило, в діапазоні 4,0-4,5 мкм/мК (при 25-1000 ℃). Це означає, що його розмірна стабільність чудова при великих перепадах температур.
Стійкість до корозії: покриття SiC надзвичайно стійкі до корозії в сильних кислотах, лугах і окислювальних середовищах, особливо при використанні сильних кислот (таких як HF або HCl), їхня корозійна стійкість значно перевищує корозійну стійкість звичайних металевих матеріалів.
Покриття SiC можна наносити на такі матеріали:
Ізостатичний графіт високої чистоти (низький КТР)
Вольфрам
Молібден
Карбід кремнію
Нітрид кремнію
Вуглець-вуглецеві композити (CFC)
Продукти з SiC покриттям зазвичай використовуються в таких сферах:
Виробництво світлодіодних чіпів
Виробництво полікремнію
Напівпровідникріст кристалів
Кремній іSiC епітаксія
Термічна обробка та травлення пластин
Чому варто вибрати VET Energy?
VET Energy є провідним виробником, новатором і лідером у виробництві SiC-покриттів у Китаї. Основні SiC-покриття включаютьпластинчастий носій з покриттям SiC, з покриттям SiCепітаксіальний сцептор, Графітове кільце з покриттям SiC, Деталі-півмісяці з покриттям SiC, Карбон-вуглецевий композит із покриттям SiC, Вафельний човен із покриттям SiC, Нагрівач з покриттям SiCтощо. VET Energy прагне надавати напівпровідниковій промисловості найкращі технології та рішення для продуктів, а також підтримує послуги з налаштування. Ми щиро сподіваємось стати вашим довгостроковим партнером у Китаї.
Якщо у вас є запитання або вам потрібна додаткова інформація, будь ласка, не соромтеся зв’язатися з нами.
Whatsapp&Wechat: +86-18069021720
Email: steven@china-vet.com
Час публікації: 18 жовтня 2024 р