Основні функціїчовен з карбіду кремніюопора та кварцова опора для човна однакові.Човен з карбіду кремніюопора має відмінну продуктивність, але високу ціну. Він являє собою альтернативну взаємодію з опорою кварцового човна в обладнанні для обробки акумуляторів із суворими умовами роботи (такому як обладнання LPCVD та обладнання для дифузії бору). У обладнанні для обробки акумуляторів зі звичайними умовами роботи, через співвідношення цін, карбід кремнію та кварцові опори для човнів стають співіснуючими та конкуруючими категоріями.
① Відношення заміщення в LPCVD та обладнанні для дифузії бору
Обладнання LPCVD використовується для тунельного окислення елементів батареї та процесу підготовки шару легованого полікремнію. Принцип роботи:
В атмосфері низького тиску в поєднанні з відповідною температурою досягається хімічна реакція та утворення плівки осадження для отримання надтонкого тунельного оксидного шару та полікремнієвої плівки. У процесі тунельного окислення та підготовки шару легованого полікремнію опора човна має високу робочу температуру, і на поверхні буде нанесено кремнієву плівку. Коефіцієнт теплового розширення кварцу значно відрізняється від коефіцієнта кремнію. При використанні у вищезазначеному процесі необхідно регулярно протравлювати та видаляти кремній, що осідає на поверхні, щоб запобігти руйнуванню опори кварцового човна через теплове розширення та звуження через різний коефіцієнт теплового розширення від кремнію. Через часте травлення та низьку високотемпературну міцність кварцовий човнотримач має недовгий термін служби, і його часто замінюють у процесі тунельного окислення та підготовки легованого полікремнієвого шару, що значно збільшує вартість виробництва елемента батареї. Коефіцієнт розширеннякарбід кремніюблизький до кремнію. Інтегрованийчовен з карбіду кремніютримач не вимагає травлення в процесі тунельного окислення та підготовки шару легованого полікремнію. Має високу жароміцність і тривалий термін служби. Це хороша альтернатива кварцовому тримачу для човна.
Обладнання для розширення бору в основному використовується для процесу легування елементів бору на підкладці кремнієвої пластини N-типу елемента батареї для підготовки емітера P-типу до формування PN-переходу. Принцип роботи полягає в реалізації хімічної реакції та утворення плівки молекулярного осадження в атмосфері високої температури. Після формування плівки її можна дифундувати за допомогою високотемпературного нагрівання, щоб реалізувати функцію легування поверхні кремнієвої пластини. Через високу робочу температуру борного розширювального обладнання кварцовий човнотримач має низьку високотемпературну міцність і короткий термін служби в борному розширювальному обладнанні. Інтегрованийчовен з карбіду кремніютримач має високу високотемпературну міцність і є хорошою альтернативою кварцовому тримачу для човна в процесі борного розширення.
② Відносини заміщення в іншому технологічному обладнанні
Опори для човнів з SiC мають невелику виробничу потужність і чудову продуктивність. Ціна на них зазвичай вища, ніж на кварцові опори для човнів. У загальних умовах роботи обладнання для обробки клітин різниця в терміні служби між опорами для човнів SiC і опорами для човнів з кварцу невелика. Клієнти нижчої течії в основному порівнюють і вибирають між ціною та продуктивністю на основі власних процесів і потреб. Опори для човнів з SiC і кварцові опори для човнів стали співіснуючими та конкурентними. Однак валовий прибуток опор для човнів із SiC наразі відносно високий. Зі зниженням вартості виробництва опор для човнів з SiC, якщо ціна продажу опор для човнів з SiC активно знижується, це також створить більшу конкурентоспроможність кварцових опор для човнів.
Коефіцієнт використання
Маршрут стільникових технологій — це в основному технології PERC і TOPCon. Ринкова частка технології PERC становить 88%, а частка ринку TOPCon – 8,3%. Загальна частка ринку цих двох становить 96,30%.
Як показано на малюнку нижче:
У технології PERC опори для човнів потрібні для передньої дифузії фосфору та процесів відпалу. У технології TOPCon опори для човнів потрібні для передньої дифузії бору, LPCVD, задньої дифузії фосфору та процесів відпалу. В даний час опори для човнів з карбіду кремнію в основному використовуються в процесі LPCVD технології TOPCon, і їх застосування в процесі дифузії бору в основному перевірено.
Рис Застосування човнових опор у процесі обробки клітин
Примітка. Після покриття передньої та задньої панелей за технологіями PERC і TOPCon залишаються зв’язки, такі як трафаретний друк, спікання, випробування та сортування, які не передбачають використання опор для човнів і не перераховані на малюнку вище.
Час публікації: 15 жовтня 2024 р