ДовговічністьГрафітовий нагрівач із покриттям SICдля MOCVD K465i, графітовий нагрівач для епітаксії,
графітовий нагрівач, Графітовий нагрівач для MOCVD, обігрівач, Графітовий нагрівач із покриттям SIC,
Довговічне покриття SICГрафітовий нагрівач для MOCVDK465i
Theграфітовий нагрівачкомпоненти використовуються у високотемпературній печі з температурою, досягнутою 2200 градусів у вакуумному середовищі та 3000 градусів у розкисленому та введеному газовому середовищі.
Основні властивості графітуобігрівач:
1. Рівномірність нагрівання структури.
2. хороша електропровідність і високе електричне навантаження.
3. стійкість до корозії.
4. неокислюваність.
5. висока хімічна чистота.
6. висока механічна міцність.
Перевагою є енергоефективність, висока вартість і низькі витрати на обслуговування.
Ми можемо виготовити графітовий тигель із захистом від окислення та тривалим терміном служби, графітову форму та всі частини графітового нагрівача.
Основні параметри графітового нагрівача:
Технічна специфікація | ВЕТ-М3 |
Насипна щільність (г/см3) | ≥1,85 |
Зольність (PPM) | ≤500 |
Твердість по Шору | ≥45 |
Питомий опір (μ.Ω.m) | ≤12 |
Міцність на вигин (МПа) | ≥40 |
Міцність на стиск (МПа) | ≥70 |
Макс. Розмір зерна (мкм) | ≤43 |
Коефіцієнт теплового розширення Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Графітовий нагрівач для електропечі має властивості термостійкості, стійкості до окислення, хорошої електропровідності та кращої механічної інтенсивності. Ми можемо обробляти різні типи графітового нагрівача відповідно до конструкцій клієнтів.