Барабан із напівмісяця з SiC покриттям, що використовується в епітаксійному обладнанні з SiC

Короткий опис:

Введення та використання продукту: підключена кварцова трубка, може пропускати газ для обертання основи лотка, контроль температури

Пристрій розташування продукту: в реакційній камері, без безпосереднього контакту з пластиною

Основна переробна продукція: силові пристрої

Основний термінальний ринок: автомобілі на новій енергії

 


Деталі продукту

Теги товарів

Графітова частина півмісяця з покриттям SiCis a ключкомпонент, що використовується в процесах виробництва напівпровідників, особливо для епітаксійного обладнання SiC.Ми використовуємо нашу запатентовану технологію для виготовлення півмісяцянадзвичайно висока чистота,добрепокриттярівномірністьі відмінний термін служби, а такожвисока хімічна стійкість і термостабільність.

ПТО Енергія є всправжній виробник індивідуальних виробів із графіту та карбіду кремнію з покриттям CVD,може постачатирізнііндивідуальні частини для напівпровідникової та фотоелектричної промисловості. OНаша технічна команда походить від провідних вітчизняних науково-дослідних установ, може надати більш професійні матеріальні рішеннядля вас.

Ми постійно розробляємо передові процеси, щоб забезпечити більш досконалі матеріали,ірозробили ексклюзивну запатентовану технологію, яка може зробити з’єднання між покриттям і основою більш міцним і менш схильним до відшарування.

Fособливості нашої продукції:

1. Стійкість до високотемпературного окислення до 1700.
2. Висока чистота ітеплова однорідність
3. Чудова стійкість до корозії: кислоти, луги, солі та органічні реагенти.
4. Висока твердість, компактна поверхня, дрібні частинки.
5. Довший термін служби та міцніший

ССЗ SiC薄膜基本物理性能

Основні фізичні властивості CVD SiCпокриття

性质 / Власність

典型数值 / Типове значення

晶体结构 / Кристалічна структура

FCC β фаза多晶,主要为(111)取向

密度 / Щільність

3,21 г/см³

硬度 / Твердість

2500 维氏硬度 (завантаження 500 г)

晶粒大小 / Розмір зерна

2~10 мкм

纯度 / Хімічна чистота

99,99995%

热容 / Теплоємність

640 Дж·кг-1·К-1

升华温度 / Температура сублімації

2700 ℃

抗弯强度 / Міцність на вигин

415 МПа RT 4-точковий

杨氏模量 / Модуль Юнга

430 Gpa 4pt вигин, 1300 ℃

导热系数 / Термалпровідність

300 Вт·м-1·К-1

热膨胀系数 / Теплове розширення (CTE)

4,5×10-6K-1

1

2

Щиро вітаємо вас відвідати нашу фабрику, давайте обговоримо далі!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • Попередній:
  • далі:

  • Онлайн-чат WhatsApp!