ตัวรับถังเคลือบ SiC

คำอธิบายสั้น ๆ :

VET Energy SiC Coated Barrel Susceptor เป็นผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูงที่ออกแบบมาเพื่อให้ประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้ตลอดระยะเวลาที่ขยายออกไป มีความต้านทานความร้อนและความสม่ำเสมอทางความร้อนที่ดีเยี่ยม มีความบริสุทธิ์สูง ทนต่อการกัดกร่อน ทำให้เป็นโซลูชั่นที่สมบูรณ์แบบสำหรับการใช้งานในการประมวลผลแผ่นเวเฟอร์


  • สถานที่กำเนิด:จีน
  • โครงสร้างคริสตัล:เฟสFCCβ
  • ความหนาแน่น :3.21 กรัม/ซม.;
  • ความแข็ง:2,500 วิคเกอร์;
  • ขนาดเกรน:2~10ไมโครเมตร;
  • ความบริสุทธิ์ของสารเคมี:99.99995%;
  • ความจุความร้อน :640J·กก.-1·K-1;
  • อุณหภูมิระเหิด:2,700 ℃;
  • ความแข็งแรงของเฟล็กซ์เจอร์ :415 เมกะพาสคัล (RT 4 จุด);
  • โมดูลัสของ Young:430 Gpa (โค้ง 4 พอยต์, 1300 ℃);
  • การขยายความร้อน (CTE) :4.5 10-6K-1;
  • การนำความร้อน:300(W/MK);
  • รายละเอียดสินค้า

    แท็กสินค้า

    ตัวรับบาร์เรล is a สำคัญส่วนประกอบที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ต่างๆเราใช้เทคโนโลยีที่จดสิทธิบัตรของเราเพื่อสร้างตัวรับบาร์เรลกับมีความบริสุทธิ์สูงมากดีการเคลือบความสม่ำเสมอและอายุการใช้งานที่ดีเยี่ยมเช่นเดียวกับทนต่อสารเคมีสูงและมีคุณสมบัติคงตัวทางความร้อน

    เวท พลังงาน คือ ที่ผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองอย่างแท้จริงพร้อมการเคลือบ CVDสามารถจัดหาได้หลากหลายชิ้นส่วนที่กำหนดเองสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ Oทีมเทคนิคของคุณมาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชั่นวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นสำหรับคุณ.

    เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงมากขึ้นและได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้เกิดการยึดเกาะระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวได้แน่นขึ้น และมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง

    Fคุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:

    1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1700.
    2. มีความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอทางความร้อน
    3. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์
    4. มีความแข็งสูง พื้นผิวกะทัดรัด อนุภาคละเอียด
    5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น

    ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能

    คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

    性质 / คุณสมบัติ

    典型数值 / ค่าทั่วไป

    晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล

    เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

    密度 / ความหนาแน่น

    3.21 ก./ซม.³

    硬度 /ความแข็ง

    2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

    晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe

    2~10ไมโครเมตร

    纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี

    99.99995%

    热容 /ความจุความร้อน

    640 เจ·กก-1·เค-1

    升华温度 /อุณหภูมิระเหิด

    2,700 ℃

    抗弯强度 / แรงดัดงอ

    415 MPa RT 4 จุด

    杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

    430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃

    导热系数 / เธอร์มาการนำไฟฟ้า

    300W·ม-1·เค-1

    热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE)

    4.5×10-6K-1

    未标题-1

    1

    2

    ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

    研发团队

     

    生产设备

     

    公司客户


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!