ถังส่วน Halfmoon เคลือบ SiC ที่ใช้ในอุปกรณ์ SiC Epitaxial

คำอธิบายสั้น ๆ :

การแนะนำผลิตภัณฑ์และการใช้: ท่อควอทซ์ที่เชื่อมต่อสามารถผ่านแก๊สเพื่อขับเคลื่อนการหมุนฐานถาดการควบคุมอุณหภูมิ

ตำแหน่งอุปกรณ์ของผลิตภัณฑ์: ในห้องปฏิกิริยา ไม่ได้สัมผัสโดยตรงกับแผ่นเวเฟอร์

ผลิตภัณฑ์ปลายน้ำหลัก: อุปกรณ์ไฟฟ้า

ตลาดอาคารผู้โดยสารหลัก: ยานพาหนะพลังงานใหม่

 


รายละเอียดสินค้า

แท็กสินค้า

ส่วนฮาล์ฟมูนกราไฟท์เคลือบ SiCis a สำคัญส่วนประกอบที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ โดยเฉพาะสำหรับอุปกรณ์ SiC epitaxisเราใช้เทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรของเราเพื่อสร้างส่วนฮาล์ฟมูนด้วยมีความบริสุทธิ์สูงมากดีการเคลือบความสม่ำเสมอและอายุการใช้งานที่ดีเยี่ยมเช่นเดียวกับทนต่อสารเคมีสูงและมีคุณสมบัติคงตัวทางความร้อน

เวท พลังงาน คือ ที่ผู้ผลิตผลิตภัณฑ์กราไฟท์และซิลิกอนคาร์ไบด์แบบกำหนดเองอย่างแท้จริงพร้อมการเคลือบ CVDสามารถจัดหาได้หลากหลายชิ้นส่วนที่กำหนดเองสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ Oทีมเทคนิคของคุณมาจากสถาบันวิจัยชั้นนำในประเทศ สามารถจัดหาโซลูชั่นวัสดุที่เป็นมืออาชีพมากขึ้นสำหรับคุณ.

เราพัฒนากระบวนการขั้นสูงอย่างต่อเนื่องเพื่อจัดหาวัสดุขั้นสูงมากขึ้นและได้พัฒนาเทคโนโลยีที่ได้รับการจดสิทธิบัตรเฉพาะ ซึ่งสามารถทำให้เกิดการยึดเกาะระหว่างสารเคลือบและพื้นผิวได้แน่นขึ้น และมีแนวโน้มที่จะหลุดออกน้อยลง

Fคุณสมบัติของผลิตภัณฑ์ของเรา:

1. ทนต่อการเกิดออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูงถึง 1700.
2. มีความบริสุทธิ์สูงและความสม่ำเสมอทางความร้อน
3. ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม: กรด ด่าง เกลือ และรีเอเจนต์อินทรีย์
4. มีความแข็งสูง พื้นผิวกะทัดรัด อนุภาคละเอียด
5. อายุการใช้งานยาวนานขึ้นและทนทานมากขึ้น

ซีวีดี SiC薄膜基本物理性能

คุณสมบัติทางกายภาพพื้นฐานของ CVD SiCการเคลือบ

性质 / คุณสมบัติ

典型数值 / ค่าทั่วไป

晶体结构 /โครงสร้างคริสตัล

เฟส FCC β多晶,主要为(111)取向

密度 / ความหนาแน่น

3.21 ก./ซม.³

硬度 /ความแข็ง

2,500 กระป๋อง (โหลด 500 กรัม)

晶粒大小 / เมล็ดข้าว SiZe

2~10ไมโครเมตร

纯度 / ความบริสุทธิ์ของสารเคมี

99.99995%

热容 /ความจุความร้อน

640 เจ·กก-1·เค-1

升华温度 /อุณหภูมิระเหิด

2,700 ℃

抗弯强度 / แรงดัดงอ

415 MPa RT 4 จุด

杨氏模量 / โมดูลัสของยัง

430 Gpa 4pt โค้งงอ 1300 ℃

导热系数 / เธอร์มาการนำไฟฟ้า

300W·ม-1·เค-1

热膨胀系数 / การขยายตัวทางความร้อน(CTE)

4.5×10-6K-1

1

2

ยินดีต้อนรับคุณอย่างอบอุ่นเข้าเยี่ยมชมโรงงานของเรา มาพูดคุยกันเพิ่มเติม!

研发团队

 

生产设备

 

公司客户


  • ก่อนหน้า:
  • ต่อไป:

  • แชทออนไลน์ WhatsApp!