వెట్-చైనా ప్రతి మన్నికను నిర్ధారిస్తుందిసిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ తెడ్డుఅద్భుతమైన పనితీరు మరియు మన్నికను కలిగి ఉంది. ఈ సిలికాన్ కార్బైడ్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్ పాడిల్ దాని నిర్మాణ స్థిరత్వం మరియు కార్యాచరణ అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు రసాయన తుప్పు వాతావరణంలో ఉండేలా అధునాతన తయారీ ప్రక్రియలను ఉపయోగిస్తుంది. ఈ వినూత్న డిజైన్ సెమీకండక్టర్ వేఫర్ హ్యాండ్లింగ్కు, ముఖ్యంగా హై-ప్రెసిషన్ ఆటోమేటెడ్ ఆపరేషన్లకు అద్భుతమైన మద్దతును అందిస్తుంది.
SiC కాంటిలివర్ తెడ్డుఆక్సిడేషన్ ఫర్నేస్, డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ మరియు ఎనియలింగ్ ఫర్నేస్ వంటి సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలలో ఉపయోగించే ఒక ప్రత్యేక భాగం, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల సమయంలో పొరలను లోడ్ చేయడం మరియు అన్లోడ్ చేయడం, మద్దతు ఇవ్వడం మరియు రవాణా చేయడం ప్రధాన ఉపయోగం.
సాధారణ నిర్మాణాలుయొక్కSiCcయాంటీలీవర్pఅనుబంధం: కాంటిలివర్ నిర్మాణం, ఒక చివర స్థిరంగా మరియు మరొక వైపు ఉచితంగా ఉంటుంది, సాధారణంగా ఫ్లాట్ మరియు తెడ్డు లాంటి డిజైన్ ఉంటుంది.
పని చేస్తోందిpసూత్రప్రాయమైనయొక్కSiCcయాంటీలీవర్pఅనుబంధం:
కాంటిలివర్ తెడ్డు ఫర్నేస్ చాంబర్లో పైకి క్రిందికి లేదా ముందుకు వెనుకకు కదలగలదు, ఇది పొరలను లోడ్ అవుతున్న ప్రాంతాల నుండి ప్రాసెసింగ్ ప్రాంతాలకు లేదా ప్రాసెసింగ్ ప్రాంతాల నుండి బయటకు తరలించడానికి, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ సమయంలో పొరలను సపోర్టింగ్ చేయడానికి మరియు స్థిరీకరించడానికి ఉపయోగించవచ్చు.
రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క భౌతిక లక్షణాలు | |
ఆస్తి | సాధారణ విలువ |
పని ఉష్ణోగ్రత (°C) | 1600°C (ఆక్సిజన్తో), 1700°C (పర్యావరణాన్ని తగ్గించడం) |
SiC కంటెంట్ | > 99.96% |
ఉచిత Si కంటెంట్ | < 0.1% |
బల్క్ డెన్సిటీ | 2.60-2.70 గ్రా/సెం3 |
స్పష్టమైన సచ్ఛిద్రత | < 16% |
కుదింపు బలం | > 600 MPa |
కోల్డ్ బెండింగ్ బలం | 80-90 MPa (20°C) |
హాట్ బెండింగ్ బలం | 90-100 MPa (1400°C) |
థర్మల్ విస్తరణ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
ఉష్ణ వాహకత @1200°C | 23 W/m•K |
సాగే మాడ్యులస్ | 240 GPa |
థర్మల్ షాక్ నిరోధకత | చాలా బాగుంది |