సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పూత హీటర్

వెట్-చైనాసిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్పూత అనేది చాలా కఠినమైన మరియు దుస్తులు-నిరోధకతతో తయారు చేయబడిన అధిక-పనితీరు గల రక్షణ పూతసిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC)పదార్థం, ఇది అద్భుతమైన రసాయన తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తిలో ఈ లక్షణాలు కీలకమైనవిసిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పూతసెమీకండక్టర్ తయారీ సామగ్రి యొక్క కీలక భాగాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

వెట్-చైనా యొక్క నిర్దిష్ట పాత్రసిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తిలో పూత క్రింది విధంగా ఉంటుంది:

పరికరాల మన్నికను మెరుగుపరచండి:సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలకు అత్యంత అధిక కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు నిరోధకతతో అద్భుతమైన ఉపరితల రక్షణను అందిస్తుంది. ముఖ్యంగా రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) మరియు ప్లాస్మా ఎచింగ్ వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు అత్యంత తినివేయు ప్రక్రియ వాతావరణంలో, పూత రసాయన కోత లేదా భౌతిక దుస్తులు కారణంగా పరికరాల ఉపరితలం దెబ్బతినకుండా సమర్థవంతంగా నిరోధించగలదు, తద్వారా సేవా జీవితాన్ని గణనీయంగా పొడిగిస్తుంది. పరికరాలు మరియు తరచుగా భర్తీ మరియు మరమ్మత్తు వలన పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గించడం.

ప్రక్రియ స్వచ్ఛతను మెరుగుపరచండి:సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, చిన్న కాలుష్యం ఉత్పత్తి లోపాలను కలిగిస్తుంది. సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పూత యొక్క రసాయన జడత్వం తీవ్రమైన పరిస్థితులలో స్థిరంగా ఉండటానికి అనుమతిస్తుంది, పదార్థం కణాలు లేదా మలినాలను విడుదల చేయకుండా నిరోధిస్తుంది, తద్వారా ప్రక్రియ యొక్క పర్యావరణ స్వచ్ఛతను నిర్ధారిస్తుంది. PECVD మరియు అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ వంటి అధిక ఖచ్చితత్వం మరియు అధిక శుభ్రత అవసరమయ్యే తయారీ దశలకు ఇది చాలా ముఖ్యమైనది.

ఉష్ణ నిర్వహణను ఆప్టిమైజ్ చేయండి:వేగవంతమైన థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP) మరియు ఆక్సీకరణ ప్రక్రియల వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పూత యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత పరికరాలు లోపల ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని అనుమతిస్తుంది. ఇది ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల వల్ల కలిగే ఉష్ణ ఒత్తిడి మరియు పదార్థ వైకల్యాన్ని తగ్గించడంలో సహాయపడుతుంది, తద్వారా ఉత్పత్తి తయారీ ఖచ్చితత్వం మరియు స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

సంక్లిష్ట ప్రక్రియ వాతావరణాలకు మద్దతు ఇవ్వండి:ICP ఎచింగ్ మరియు PSS ఎచింగ్ ప్రక్రియల వంటి సంక్లిష్ట వాతావరణ నియంత్రణ అవసరమయ్యే ప్రక్రియలలో, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ పూత యొక్క స్థిరత్వం మరియు ఆక్సీకరణ నిరోధకత, దీర్ఘ-కాల ఆపరేషన్‌లో పరికరాలు స్థిరమైన పనితీరును కలిగి ఉండేలా చూస్తుంది, పదార్థం క్షీణత లేదా పరికరాల నష్టం ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది. పర్యావరణ మార్పులకు.