1. శుభ్రపరిచే ముందు రసీదు
1) ఎప్పుడుPECVD గ్రాఫైట్ పడవ/ క్యారియర్ 100 నుండి 150 కంటే ఎక్కువ సార్లు ఉపయోగించబడుతుంది, ఆపరేటర్ పూత పరిస్థితిని సకాలంలో తనిఖీ చేయాలి. ఒక అసాధారణ పూత ఉంటే, అది శుభ్రం మరియు నిర్ధారించడానికి అవసరం. గ్రాఫైట్ బోట్/క్యారియర్‌లోని సిలికాన్ పొర యొక్క సాధారణ పూత రంగు నీలం. పొర నీలం కాని, బహుళ రంగులను కలిగి ఉంటే లేదా పొరల మధ్య రంగు వ్యత్యాసం పెద్దగా ఉంటే, అది అసాధారణమైన పూత మరియు అసాధారణతకు కారణాన్ని సమయానికి నిర్ధారించాల్సిన అవసరం ఉంది.
2) ప్రక్రియ తర్వాత సిబ్బంది పూత పరిస్థితిని విశ్లేషిస్తారుPECVD గ్రాఫైట్ పడవ/క్యారియర్, వారు గ్రాఫైట్ బోట్‌ను శుభ్రపరచాలా మరియు కార్డ్ పాయింట్‌ను మార్చాలా వద్దా అని నిర్ణయిస్తారు మరియు శుభ్రపరచాల్సిన గ్రాఫైట్ బోట్/క్యారియర్ శుభ్రపరచడానికి పరికరాల సిబ్బందికి అప్పగించబడుతుంది.
3) తరువాతగ్రాఫైట్ పడవ/ క్యారియర్ దెబ్బతిన్నది, ఉత్పత్తి సిబ్బంది గ్రాఫైట్ బోట్‌లోని అన్ని సిలికాన్ పొరలను బయటకు తీస్తారు మరియు దానిలోని శకలాలను క్రమబద్ధీకరించడానికి CDA (కంప్రెస్డ్ ఎయిర్)ని ఉపయోగిస్తారు.గ్రాఫైట్ పడవ. పూర్తయిన తర్వాత, పరికర సిబ్బంది దానిని శుభ్రపరచడానికి నిర్దిష్ట నిష్పత్తిలో HF ద్రావణంతో తయారు చేసిన యాసిడ్ ట్యాంక్‌లోకి ఎత్తారు.
2. గ్రాఫైట్ పడవ శుభ్రపరచడం
మూడు రౌండ్ల క్లీనింగ్ కోసం 15-25% హైడ్రోఫ్లోరిక్ యాసిడ్ ద్రావణాన్ని ఉపయోగించాలని సిఫార్సు చేయబడింది, ఒక్కొక్కటి 4-5 గంటలు, మరియు నానబెట్టడం మరియు శుభ్రపరిచే ప్రక్రియలో క్రమానుగతంగా నత్రజనిని బబ్లింగ్ చేయడం, సుమారు అరగంట శుభ్రపరచడం; గమనిక: బబ్లింగ్ కోసం గాలిని నేరుగా గ్యాస్ సోర్స్‌గా ఉపయోగించడం సిఫారసు చేయబడలేదు. ఊరగాయ తర్వాత, సుమారు 10 గంటల పాటు స్వచ్ఛమైన నీటితో శుభ్రం చేసుకోండి మరియు పడవ పూర్తిగా శుభ్రం చేయబడిందని నిర్ధారించండి. శుభ్రపరిచిన తర్వాత, దయచేసి బోట్ ఉపరితలం, గ్రాఫైట్ కార్డ్ పాయింట్ మరియు బోట్ షీట్ జాయింట్ మరియు ఇతర భాగాలను తనిఖీ చేయండి, ఏదైనా సిలికాన్ నైట్రైడ్ అవశేషాలు ఉన్నాయో లేదో చూడండి. అప్పుడు అవసరాలకు అనుగుణంగా పొడిగా ఉంటుంది.
3. శుభ్రపరిచే జాగ్రత్తలు
ఎ) HF ఆమ్లం అత్యంత తినివేయు పదార్ధం మరియు ఒక నిర్దిష్ట అస్థిరతను కలిగి ఉంటుంది కాబట్టి, ఇది ఆపరేటర్లకు ప్రమాదకరం. అందువల్ల, క్లీనింగ్ పోస్ట్ వద్ద ఆపరేటర్లు తప్పనిసరిగా భద్రతా జాగ్రత్తలు తీసుకోవాలి మరియు అంకితమైన వ్యక్తిచే నిర్వహించబడాలి.
బి) పడవను విడదీయాలని మరియు శుభ్రపరిచే సమయంలో గ్రాఫైట్ భాగాన్ని మాత్రమే శుభ్రం చేయాలని సిఫార్సు చేయబడింది, తద్వారా ప్రతి సంపర్క భాగాన్ని మరింత పూర్తిగా శుభ్రం చేయవచ్చు. ప్రస్తుతం, చాలా మంది దేశీయ తయారీదారులు మొత్తం శుభ్రపరచడాన్ని ఉపయోగిస్తారు, ఇది సౌకర్యవంతంగా ఉంటుంది, అయితే HF యాసిడ్ సిరామిక్ భాగాలకు తినివేయడం వలన, మొత్తం శుభ్రపరచడం సంబంధిత భాగాల సేవ జీవితాన్ని తగ్గిస్తుంది.
పోస్ట్ సమయం: డిసెంబర్-23-2024