ది అడ్వాన్స్డ్SiC కాంటిలివర్ తెడ్డువెట్-చైనా రూపొందించిన వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ సెమీకండక్టర్ తయారీకి అద్భుతమైన పరిష్కారాన్ని అందిస్తుంది. ఈ కాంటిలివర్ తెడ్డు SiC (సిలికాన్ కార్బైడ్) పదార్థంతో తయారు చేయబడింది మరియు దాని అధిక కాఠిన్యం మరియు ఉష్ణ నిరోధకత అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో అద్భుతమైన పనితీరును నిర్వహించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. కాంటిలివర్ పాడిల్ యొక్క రూపకల్పన ప్రాసెసింగ్ సమయంలో పొరను విశ్వసనీయంగా సపోర్ట్ చేయడానికి అనుమతిస్తుంది, ఇది విచ్ఛిన్నం మరియు నష్టం ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.
SiC కాంటిలివర్ తెడ్డుఆక్సిడేషన్ ఫర్నేస్, డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ మరియు ఎనియలింగ్ ఫర్నేస్ వంటి సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలలో ఉపయోగించే ఒక ప్రత్యేక భాగం, అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియల సమయంలో పొరలను లోడ్ చేయడం మరియు అన్లోడ్ చేయడం, మద్దతు ఇవ్వడం మరియు రవాణా చేయడం ప్రధాన ఉపయోగం.
సాధారణ నిర్మాణాలుయొక్కSiCcయాంటీలీవర్pఅనుబంధం: కాంటిలివర్ నిర్మాణం, ఒక చివర స్థిరంగా మరియు మరొక వైపు ఉచితంగా ఉంటుంది, సాధారణంగా ఫ్లాట్ మరియు తెడ్డు లాంటి డిజైన్ ఉంటుంది.
VET ఎనర్జీ నాణ్యతకు హామీ ఇవ్వడానికి అధిక స్వచ్ఛత రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థాలను ఉపయోగిస్తుంది.
రీక్రిస్టలైజ్డ్ సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క భౌతిక లక్షణాలు | |
ఆస్తి | సాధారణ విలువ |
పని ఉష్ణోగ్రత (°C) | 1600°C (ఆక్సిజన్తో), 1700°C (పర్యావరణాన్ని తగ్గించడం) |
SiC కంటెంట్ | > 99.96% |
ఉచిత Si కంటెంట్ | < 0.1% |
బల్క్ డెన్సిటీ | 2.60-2.70 గ్రా/సెం3 |
స్పష్టమైన సచ్ఛిద్రత | < 16% |
కుదింపు బలం | > 600MPa |
కోల్డ్ బెండింగ్ బలం | 80-90 MPa (20°C) |
హాట్ బెండింగ్ బలం | 90-100 MPa (1400°C) |
థర్మల్ విస్తరణ @1500°C | 4.70 10-6/°C |
ఉష్ణ వాహకత @1200°C | 23W/m•K |
సాగే మాడ్యులస్ | 240 GPa |
థర్మల్ షాక్ నిరోధకత | చాలా బాగుంది |
వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ కోసం VET ఎనర్జీ యొక్క అధునాతన SiC కాంటిలివర్ పాడిల్ యొక్క ప్రయోజనాలు:
-అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం: 1600°C కంటే ఎక్కువ వాతావరణంలో ఉపయోగించవచ్చు;
-తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం: డైమెన్షనల్ స్టెబిలిటీని నిర్వహిస్తుంది, పొర వార్పేజ్ ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది;
-అధిక స్వచ్ఛత: లోహ కాలుష్యం తక్కువ ప్రమాదం;
-రసాయన జడత్వం: తుప్పు-నిరోధకత, వివిధ వాయువు వాతావరణాలకు అనుకూలం;
-అధిక బలం మరియు కాఠిన్యం: దుస్తులు-నిరోధకత, సుదీర్ఘ సేవా జీవితం;
-మంచి ఉష్ణ వాహకత: ఏకరీతి పొర వేడి చేయడంలో సహాయపడుతుంది.