Vet-SainaSilicon Carbide CeramicO le faʻapipiʻiina o se faʻapipiʻi maualuga faʻapipiʻi puipuia e faia i le matua malō ma faʻafefetecarbide silikoni (SiC)meafaitino, lea e maua ai le sili ona lelei o le faʻamaʻiina o vailaʻau ma le maualuga o le vevela. O nei uiga e taua tele i le gaosiga o le semiconductor, o leaSilicon Carbide Fa'aluega Simae fa'aaogaina lautele i vaega autu o masini gaosiga semiconductor.
Le matafaioi patino a Vet-SainaSilicon Carbide CeramicO le faʻapipiʻiina i le gaosiga o le semiconductor e faʻapea:
Faʻaleleia le tumau o meafaigaluega:Silicon Carbide Ceramic Coating Silicon Carbide Ceramic Coating e maua ai le puipuiga sili ona lelei mo le gaosiga o masini semiconductor ma lona maualuga maualuga ma le ofuina o le tetee. Aemaise lava i le maualuga o le vevela ma le maualuga o le faʻaogaina o siosiomaga, e pei o le vailaʻau faʻamaʻi (CVD) ma le plasma etching, e mafai e le ufiufi ona puipuia lelei le faʻaogaina o le masini mai le faʻaleagaina e le faʻaleagaina o vailaʻau poʻo le ofuina o le tino, ma faʻateleina ai le ola tautua o le. o meafaigaluega ma fa'aitiitia taimi fa'aletonu e mafua mai i le sui soo ma toe fa'aleleia.
Fa'aleleia le mama o le faagasologa:I le fa'agasologa o le gaosiga o le semiconductor, o sina fa'aleagaina e ono mafua ai le fa'aletonu o oloa. O le vailaʻau faʻamaʻi o le Silicon Carbide Ceramic Coating e mafai ai ona tumau mautu i lalo o tulaga ogaoga, e puipuia ai le mea mai le tuʻuina atu o vaega poʻo le mama, ma faʻamautinoa ai le mama o le siosiomaga o le faagasologa. E taua tele lenei mea mo le gaosiga o laasaga e manaʻomia ai le maualuga ma le mama maualuga, e pei o le PECVD ma le faʻapipiʻiina o ion.
Fa'ato'a lelei pulega fa'avevela:I le gaosiga o le semiconductor maualuga, e pei o le faʻavaveina o le vevela (RTP) ma faʻamaʻi faʻamaʻi, o le maualuga o le vevela o le Silicon Carbide Ceramic Coating e mafai ai ona tufatufaina atu le vevela i totonu o meafaigaluega. E fesoasoani lea e fa'aitiitia ai le mamafa o le vevela ma le fa'aleagaina o mea e mafua mai i fesuiaiga o le vevela, ma fa'aleleia atili ai le sa'o ma le tumau o le gaosiga o oloa.
Lagolago siosiomaga faiga lavelave:I faʻagasologa e manaʻomia ai le faʻaogaina o le siosiomaga faʻalavelave, e pei o le ICP etching ma le PSS etching process, o le mautu ma le faʻamaʻiina o le faʻamaʻiina o le Silicon Carbide Ceramic Coating e faʻamautinoa ai o loʻo faʻatumauina e le masini le faʻatinoina o galuega i se taimi umi, faʻaitiitia le lamatiaga o mea faʻaleagaina poʻo mea faʻaleagaina. i suiga o le siosiomaga.
CVD SiC薄膜基本物理性能 Meatino fa'aletino autu o le CVD SiCufiufi | |
性质 / Meatotino | 典型数值 / Taua masani |
晶体结构 / Fa'a tioata | FCC β vaega多晶,主要为(111)取向 |
密度 / Malosi | 3.21 g/cm³ |
硬度 / Maaa | 2500 维氏硬度(500g uta) |
晶粒大小 / Saito Tele | 2~10μm |
纯度 / Vailaau Mama | 99.99995% |
热容 / Malosiaga vevela | 640 J·kg-1·K-1 |
升华温度 / Sulimation Temperature | 2700 ℃ |
抗弯强度 / Malosi Fa'alilolilo | 415 MPa RT 4-point |
杨氏模量 / Young's Modulus | 430 Gpa 4pt pi'o, 1300 ℃ |
导热系数 / ThermalConductivity | 300W·m-1·K-1 |
热膨胀系数 / Fa'alauteleina o le vevela(CTE) | 4.5×10-6K-1 |
Faʻafeiloaʻi faʻafeiloaʻi oe e asiasi i la matou falegaosimea, seʻi o tatou faia nisi talanoaga!