VET Malosiaga fa'aaogaina le mama maualugacarbide silikoni (SiC)fa'atupuina i le fa'aputuina o ausa vaila'au(CVD)e avea ma puna o mea mo le tuputupu aetioata SiCe ala i felauaiga ausa faaletino (PVT). I le PVT, o mea fa'apogai e utaina ile au'ameama fa'aulu i luga o se tioata fatu.
E manaʻomia se puna mama maualuga e gaosia ai le tulaga maualugatioata SiC.
O le VET Energy e fa'apitoa i le tu'uina atu o le SiC mo le PVT ona e maualuga atu lona mamafa nai lo mea laiti-mea fa'atupu i le fa'aoso fa'afuase'i o kasa o lo'o iai Si ma C. E le pei o le sintering solid-phase poʻo le tali a Si ma C, e le manaʻomia se ogaumu faʻapipiʻi tuʻufaʻatasia poʻo se laʻasaga faʻaalu taimi i totonu o se ogaumu tuputupu aʻe. O lenei mea lapopo'a-masini e toetoe lava a faifai pea le fua fa'asao, lea e fa'aleleia ai le tutusa o le tamo'e.
Folasaga:
1. Saunia CVD-SiC poloka puna: Muamua, e tatau ona e saunia se puna maualuga CVD-SiC poloka poloka, lea e masani ona maualuga le mama ma maualuga maualuga. E mafai ona saunia lea e ala i le fa'aputuina o ausa vaila'au (CVD) i lalo ole tulaga talafeagai.
2. Sauniuniga fa'apalapala: Filifili se mea'ai talafeagai e fai ma mea fa'apipi'i mo le tuputupu a'e tioata tasi SiC. O mea e masani ona fa'aaogaina e aofia ai le silicon carbide, silicon nitride, ma isi, e fetaui lelei ma le fa'atupuina SiC tioata tasi.
3. Faʻavevela ma faʻauluina: Tuu le CVD-SiC poloka poloka ma mea faʻapipiʻi i totonu o se ogaumu vevela maualuga ma tuʻuina atu tulaga faʻapipiʻi talafeagai. Sublimation o lona uiga i le maualuga o le vevela, o le puna poloka e sui saʻo mai le malo i le ausa, ona toe faʻafefe ai lea i luga o le substrate e fausia ai se tioata e tasi.
4. Puleaina o le vevela: I le faagasologa o le sublimation, e manaʻomia ona faʻatonutonu tonu le faʻasolosolo o le vevela ma le tufatufaina o le vevela e faʻaleleia ai le faʻaogaina o le puna poloka ma le tuputupu aʻe o tioata tasi. O le pulea lelei o le vevela e mafai ona maua ai le tulaga lelei tioata ma le fua o le tuputupu ae.
5. Pulea o le siosiomaga: I le faagasologa o le sublimation, e tatau foi ona pulea le siosiomaga tali. E masani ona fa'aogaina le kasa inert maualuga-mama (pei o le argon) e fai ma kesi e fa'atumauina ai le mamafa talafeagai ma le mama ma puipuia ai le fa'aleagaina e le mama.
6. Tupulaga tioata tasi: O le CVD-SiC poloka puna maua ai se suiga vaega ausa i le faagasologa sublimation ma toe condenses i luga o le substrate luga e fausia ai se fausaga tioata se tasi. Faʻateleina le tuputupu aʻe o tioata taʻitasi SiC e mafai ona ausia e ala i tulaga faʻasaʻo talafeagai ma le puleaina o le vevela.