Najprimernejši material za natančne dele fotolitografskih strojev Na področju polprevodnikov se keramični materiali iz silicijevega karbida uporabljajo predvsem v ključni opremi za proizvodnjo integriranih vezij, kot so delovna miza iz silicijevega karbida, vodila, reflektorji, keramične sesalne vpenjalne glave, roke, g...
Preberi več