Kako očistiti PECVD grafitni čoln？| VET Energy

1. Potrditev pred čiščenjem

1) Ko jePECVD grafitni čoln/nosilec uporabljen več kot 100 do 150-krat, mora operater pravočasno preveriti stanje premaza. Če obstaja nenormalen premaz, ga je treba očistiti in potrditi. Običajna barva prevleke silicijeve rezine v grafitnem čolnu/nosilcu je modra. Če rezina ni modra, ima več barv ali je barvna razlika med rezinami velika, gre za nenormalen premaz in vzrok za nenormalnost je treba pravočasno potrditi.
2) Po procesu osebje analizira stanje premazaPECVD grafitni čoln/nosilec, bodo ugotovili, ali je potrebno grafitno ladjico očistiti in ali je treba zamenjati karto, ter grafitno ladjico/nosilec, ki jo je treba očistiti, predali v čiščenje osebju opreme.

 

3) Pografitni čoln/nosilec poškodovan, bo proizvodno osebje vzelo vse silicijeve rezine v grafitnem čolnu in s CDA (stisnjenim zrakom) razvrstilo delce vgrafitni čoln. Po zaključku ga bo osebje opreme dvignilo v rezervoar za kislino, ki je bil pripravljen z določenim deležem raztopine HF za čiščenje.

 

2. Čiščenje grafitnega čolna

Priporočljivo je, da uporabite 15–25 % raztopino fluorovodikove kisline za tri kroge čiščenja, vsakega po 4–5 ur, in med postopkom namakanja in čiščenja občasno vpihujete dušik, s čimer dodate približno pol ure čiščenja; Opomba: ni priporočljivo uporabljati zraka neposredno kot vir plina za mehurčenje. Po luženju spirajte s čisto vodo približno 10 ur in preverite, ali je bila ladja temeljito očiščena. Po čiščenju preverite površino čolna, konico grafitne kartice in spoj ponjave čolna ter druge dele, da vidite, ali so na njem ostanki silicijevega nitrida. Nato posušite v skladu z zahtevami.

3. Varnostni ukrepi pri čiščenju

A) Ker je HF kislina zelo jedka snov in ima določeno hlapnost, je nevarna za operaterje. Zato morajo operaterji na čistilni postaji upoštevati varnostne ukrepe in jih mora voditi za to namenjena oseba.

B) Priporočljivo je, da čoln razstavite in med čiščenjem očistite le grafitni del, tako da lahko vsak kontaktni del temeljiteje očistite. Trenutno veliko domačih proizvajalcev uporablja celovito čiščenje, kar je priročno, a ker HF kislina jedka za keramične dele, bo splošno čiščenje skrajšalo življenjsko dobo ustreznih delov.