Prednosti nosilca za čoln iz silicijevega karbida v primerjavi z nosilcem za čoln iz kremena

Glavne funkciječoln iz silicijevega karbidapodpora in podpora za čolne iz kremena sta enaka.Čoln iz silicijevega karbidapodpora ima odlično zmogljivost, vendar visoko ceno. Predstavlja alternativno razmerje s podporo za kremenčev čoln v opremi za obdelavo baterij s težkimi delovnimi pogoji (kot je oprema LPCVD in oprema za difuzijo bora). V opremi za obdelavo baterij z običajnimi delovnimi pogoji postaneta zaradi cenovnih razmerij podpora za čolne iz silicijevega karbida in kremena soobstoječe in konkurenčne kategorije.

① Nadomestno razmerje v LPCVD in opremi za difuzijo bora

Oprema LPCVD se uporablja za oksidacijo tuneliranja baterijskih celic in postopek priprave plasti dopiranega polisilicija. Načelo delovanja:

V atmosferi nizkega tlaka v kombinaciji z ustrezno temperaturo dosežemo kemično reakcijo in tvorbo nanosnega filma za pripravo ultra tanke tunelske oksidne plasti in polisilikonskega filma. V postopku priprave tunelske oksidacije in dopiranega polisilicijevega sloja ima nosilec čolna visoko delovno temperaturo, na površino pa se nanese silicijev film. Koeficient toplotnega raztezanja kremena je precej drugačen od koeficienta silicija. Pri uporabi v zgornjem postopku je treba redno dekapirati in odstranjevati silicij, ki se je odložil na površini, da se prepreči zlom kremenčevega nosilca čolna zaradi toplotnega raztezanja in krčenja zaradi drugačnega koeficienta toplotnega raztezanja od silicija. Zaradi pogostega dekapiranja in nizke visokotemperaturne trdnosti ima kremenčev nosilec za čoln kratko življenjsko dobo in se pogosto zamenjuje v procesu priprave tunelske oksidacije in dopiranega polisilikonskega sloja, kar znatno poveča proizvodne stroške baterijske celice. Koeficient raztezanjasilicijev karbidje blizu tistemu iz silicija. Integriranočoln iz silicijevega karbidadržalo ne zahteva dekapiranja v procesu priprave tunelske oksidacije in dopiranega polisilikonskega sloja. Ima visoko temperaturno trdnost in dolgo življenjsko dobo. Je dobra alternativa kvarčnemu nosilcu za čolne.

Oprema za ekspanzijo bora se v glavnem uporablja za postopek dopiranja borovih elementov na substrat silicijeve rezine N-tipa baterijske celice za pripravo oddajnika tipa P na tvorbo PN-spojnice. Načelo delovanja je uresničitev kemične reakcije in nastajanje filma molekularnega odlaganja v atmosferi visoke temperature. Ko je film oblikovan, ga je mogoče razpršiti z visokotemperaturnim segrevanjem, da se uresniči funkcija dopinga površine silicijeve rezine. Zaradi visoke delovne temperature borove ekspanzijske opreme ima kvarčni nosilec za čoln nizko visokotemperaturno trdnost in kratko življenjsko dobo v borovi ekspanzijski opremi. Integriranočoln iz silicijevega karbidadržalo ima visoko temperaturno trdnost in je dobra alternativa kvarčnemu nosilcu za čoln v procesu ekspanzije bora.

② Nadomestno razmerje v drugi procesni opremi

SiC nosilci za čolne imajo tesno proizvodno zmogljivost in odlično zmogljivost. Njihova cena je na splošno višja od cene kremenčevih nosilcev za čolne. V splošnih delovnih pogojih opreme za obdelavo celic je razlika v življenjski dobi med nosilci za čolne iz SiC in kremenčevimi nosilci za čolne majhna. Stranke na nižji stopnji večinoma primerjajo in izbirajo med ceno in zmogljivostjo na podlagi lastnih procesov in potreb. SiC nosilci za čolne in kremenčevi nosilci za čolne so postali soobstoječi in konkurenčni. Vendar pa je bruto stopnja dobička nosilcev za čolne iz SiC trenutno relativno visoka. Z znižanjem proizvodnih stroškov SiC nosilcev za čolne, če prodajna cena SiC nosilcev za čolne aktivno upada, bo to predstavljalo tudi večjo konkurenčnost kremenčevim nosilcem za čolne.

Razmerje porabe

Pot celične tehnologije je predvsem tehnologija PERC in tehnologija TOPCon. Tržni delež PERC tehnologije je 88 %, tržni delež TOPCon tehnologije pa 8,3 %. Skupni tržni delež obeh je 96,30 %.

Kot je prikazano na spodnji sliki:

V tehnologiji PERC so nosilci za čolne potrebni za sprednjo difuzijo fosforja in procese žarjenja. V tehnologiji TOPCon so nosilci za čolne potrebni za sprednjo difuzijo bora, LPCVD, zadnjo difuzijo fosforja in procese žarjenja. Trenutno se nosilci za čolne iz silicijevega karbida uporabljajo predvsem v procesu LPCVD tehnologije TOPCon, njihova uporaba v procesu difuzije bora pa je bila v glavnem preverjena.

Slika Uporaba nosilcev za čolne v procesu predelave celic

Opomba: Po sprednjem in zadnjem premazu tehnologij PERC in TOPCon še vedno obstajajo povezave, kot so sitotisk, sintranje in testiranje ter sortiranje, ki ne vključujejo uporabe nosilcev za čolne in niso navedene na zgornji sliki.