Kaj je sic premaz? – VET ENERGIJA

Silicijev karbidje trda spojina, ki vsebuje silicij in ogljik, v naravi pa jo najdemo kot izjemno redek mineral moissanit. Delci silicijevega karbida se lahko povežejo s sintranjem v zelo trdo keramiko, ki se pogosto uporablja v aplikacijah, ki zahtevajo visoko vzdržljivost, zlasti pri obdelavi polprevodnikov.

Fizična struktura SiC

Kaj je prevleka SiC?

Prevleka SiC je gosta, proti obrabi odporna prevleka iz silicijevega karbida z visoko korozijsko in toplotno odpornostjo ter odlično toplotno prevodnostjo. Ta SiC prevleka visoke čistosti se uporablja predvsem v polprevodniški in elektronski industriji za zaščito nosilcev rezin, podstavkov in grelnih elementov pred korozivnimi in reaktivnimi okolji. Prevleka SiC je primerna tudi za vakuumske peči in segrevanje vzorcev v visokem vakuumu, reaktivnem in kisikovem okolju.

SiC prevleka visoke čistosti

Kaj je postopek nanašanja prevleke SiC?

Tanka plast silicijevega karbida se nanese na površino substrata z uporaboCVD (kemično naparjanje). Nanašanje se običajno izvaja pri temperaturah 1200-1300 °C, toplotno raztezanje substratnega materiala pa mora biti združljivo s prevleko SiC, da se zmanjša toplotna obremenitev.

CVD SIC FILMA KRISTALNA STRUKTURA

CVD SIC prevleka FILM KRISTALNA STRUKTURA

Fizikalne lastnosti SiC prevleke se odražajo predvsem v njeni visoki temperaturni obstojnosti, trdoti, odpornosti proti koroziji in toplotni prevodnosti.

Tipični fizikalni parametri so običajno naslednji:

Trdota: SiC prevleke imajo običajno Vickersovo trdoto v območju 2000-2500 HV, kar jim daje izjemno visoko odpornost proti obrabi in udarcem v industrijskih aplikacijah.

Gostota: SiC premazi imajo običajno gostoto 3,1-3,2 g/cm³. Visoka gostota prispeva k mehanski trdnosti in trajnosti premaza.

Toplotna prevodnost: SiC premazi imajo visoko toplotno prevodnost, običajno v območju 120-200 W/mK (pri 20 °C). To mu daje dobro toplotno prevodnost v okoljih z visoko temperaturo in je posebej primeren za opremo za toplotno obdelavo v industriji polprevodnikov.

Tališče: silicijev karbid ima tališče približno 2730 °C in ima odlično toplotno stabilnost pri ekstremnih temperaturah.

Koeficient toplotnega raztezanja: Prevleke iz SiC imajo nizek linearni koeficient toplotne razteznosti (CTE), običajno v območju 4,0–4,5 µm/mK (pri 25–1000 ℃). To pomeni, da je njegova dimenzijska stabilnost odlična pri velikih temperaturnih razlikah.

Odpornost proti koroziji: SiC premazi so izjemno odporni proti koroziji v močnih kislinah, alkalijah in oksidacijskih okoljih, zlasti pri uporabi močnih kislin (kot sta HF ali HCl), njihova odpornost proti koroziji daleč presega odpornost običajnih kovinskih materialov.

Prevleke SiC je mogoče nanesti na naslednje materiale:

Izostatični grafit visoke čistosti (nizek CTE)
volfram
molibden
Silicijev karbid
Silicijev nitrid
Ogljik-ogljik kompoziti (CFC)

Izdelki s prevleko iz SiC se običajno uporabljajo na naslednjih področjih:

Proizvodnja LED čipov
Proizvodnja polisilicija
Polprevodnikrast kristalov
Silicij inSiC epitaksija
Toplotna obdelava rezin in jedkanje

Zakaj izbrati VET Energy?

VET Energy je vodilni proizvajalec, inovator in vodja SiC premaznih izdelkov na Kitajskem, glavni SiC premazni izdelki vključujejonosilec rezin s prevleko iz SiC, prevlečen s SiCepitaksialni suceptor, SiC prevlečen grafitni obroč, Deli polmeseca s prevleko iz SiC, SiC prevlečen ogljik-ogljik kompozit, Čoln za rezine, prevlečen s SiC, SiC prevlečen grelec, itd. VET Energy se zavzema za zagotavljanje industrije polprevodnikov z vrhunsko tehnologijo in izdelki ter podpira storitve prilagajanja. Iskreno se veselimo, da bomo vaš dolgoročni partner na Kitajskem.