vet-china zagotavlja, da vsak TrajniVeslo za ravnanje z rezinami iz silicijevega karbidaima odlično zmogljivost in vzdržljivost. Ta lopatica za ravnanje z rezinami iz silicijevega karbida uporablja napredne proizvodne postopke, ki zagotavljajo, da njena strukturna stabilnost in funkcionalnost ostaneta v okoljih z visoko temperaturo in kemično korozijo. Ta inovativna oblika zagotavlja odlično podporo za ravnanje s polprevodniškimi rezinami, zlasti za visoko natančne avtomatizirane operacije.
SiC konzolno vesloje specializirana komponenta, ki se uporablja v opremi za proizvodnjo polprevodnikov, kot so oksidacijska peč, difuzijska peč in peč za žarjenje, glavna uporaba je za nalaganje in praznjenje rezin, podpira in transportira rezine med visokotemperaturnimi procesi.
Skupne struktureodSiCcantileverpaddle: konzolna struktura, pritrjena na enem koncu in prosta na drugem, ima običajno ravno in veslo podobno zasnovo.
DelopprincipodSiCcantileverpaddle:
Konzolna lopatica se lahko premika gor in dol ali naprej in nazaj v komori peči, lahko se uporablja za premikanje rezin iz nakladalnih območij v obdelovalna območja ali iz obdelovalnih območij, pri čemer podpira in stabilizira rezine med visokotemperaturno obdelavo.
Fizikalne lastnosti prekristaliziranega silicijevega karbida | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Delovna temperatura (°C) | 1600°C (s kisikom), 1700°C (redukcijsko okolje) |
Vsebnost SiC | > 99,96 % |
Brezplačne Si vsebine | < 0,1 % |
Nasipna gostota | 2,60-2,70 g/cm3 |
Navidezna poroznost | < 16 % |
Trdnost stiskanja | > 600 MPa |
Hladna upogibna trdnost | 80-90 MPa (20 °C) |
Trdnost pri vročem upogibanju | 90-100 MPa (1400 °C) |
Toplotna ekspanzija pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Toplotna prevodnost @1200°C | 23 W/m•K |
Modul elastičnosti | 240 GPa |
Odpornost na toplotni udar | Izjemno dobro |