grelec s keramično prevleko iz silicijevega karbida

Vet-KitajskaKeramika iz silicijevega karbidaPremaz je visoko zmogljiv zaščitni premaz, narejen iz izjemno trdega in odpornega na obrabosilicijev karbid (SiC)material, ki zagotavlja odlično odpornost proti kemični koroziji in stabilnost pri visokih temperaturah. Te značilnosti so ključne pri proizvodnji polprevodnikov, torejKeramična prevleka iz silicijevega karbidase pogosto uporablja v ključnih komponentah opreme za proizvodnjo polprevodnikov.

Posebna vloga Vet-ChinaKeramika iz silicijevega karbidaPrevleka v proizvodnji polprevodnikov je naslednja:

Povečajte vzdržljivost opreme:Keramična prevleka iz silicijevega karbida Keramična prevleka iz silicijevega karbida zagotavlja odlično površinsko zaščito za opremo za proizvodnjo polprevodnikov s svojo izjemno visoko trdoto in odpornostjo proti obrabi. Zlasti v visokotemperaturnih in zelo korozivnih procesnih okoljih, kot sta nanašanje s kemično paro (CVD) in plazemsko jedkanje, lahko premaz učinkovito prepreči poškodbe površine opreme zaradi kemične erozije ali fizične obrabe, s čimer znatno podaljša življenjsko dobo opreme. opremo in zmanjšanje izpadov zaradi pogostih zamenjav in popravil.

Izboljšajte čistost postopka:V procesu izdelave polprevodnikov lahko že majhna kontaminacija povzroči napake na izdelku. Kemična inertnost silicijevega karbidnega keramičnega premaza mu omogoča, da ostane stabilen v ekstremnih pogojih, kar preprečuje, da bi material sproščal delce ali nečistoče, s čimer je zagotovljena okoljska čistost postopka. To je še posebej pomembno za korake izdelave, ki zahtevajo visoko natančnost in visoko čistočo, kot sta PECVD in ionska implantacija.

Optimizirajte toplotno upravljanje:Pri visokotemperaturni obdelavi polprevodnikov, kot so hitra termična obdelava (RTP) in oksidacijski postopki, visoka toplotna prevodnost keramične prevleke iz silicijevega karbida omogoča enakomerno porazdelitev temperature znotraj opreme. To pomaga zmanjšati toplotno obremenitev in deformacijo materiala, ki jo povzročajo temperaturna nihanja, s čimer se izboljša natančnost in doslednost izdelave izdelka.

Podpira kompleksna procesna okolja:V procesih, ki zahtevajo zapleteno kontrolo atmosfere, kot so postopki jedkanja ICP in jedkanja PSS, stabilnost in odpornost na oksidacijo keramične prevleke iz silicijevega karbida zagotavljata, da oprema ohranja stabilno delovanje pri dolgotrajnem delovanju, kar zmanjšuje tveganje degradacije materiala ali poškodb opreme zaradi do okoljskih sprememb.