NaprednoSiC konzolno veslofor Wafer Processing, ki ga je ustvaril vet-china, zagotavlja odlično rešitev za proizvodnjo polprevodnikov. To konzolno veslo je izdelano iz materiala SiC (silicijev karbid), njegova visoka trdota in toplotna odpornost pa mu omogočata, da ohranja odlično zmogljivost pri visokih temperaturah in korozivnih okoljih. Zasnova konzolnega vesla omogoča, da je rezina med obdelavo zanesljivo podprta, kar zmanjšuje tveganje drobljenja in poškodb.
SiC konzolno vesloje specializirana komponenta, ki se uporablja v opremi za proizvodnjo polprevodnikov, kot so oksidacijska peč, difuzijska peč in peč za žarjenje, glavna uporaba je za nalaganje in praznjenje rezin, podpira in transportira rezine med visokotemperaturnimi procesi.
Skupne struktureodSiCcantileverpaddle: konzolna struktura, pritrjena na enem koncu in prosta na drugem, ima običajno ravno in veslo podobno zasnovo.
VET Energy uporablja materiale iz rekristaliziranega silicijevega karbida visoke čistosti, da zagotovi kakovost.
Fizikalne lastnosti prekristaliziranega silicijevega karbida | |
Lastnina | Tipična vrednost |
Delovna temperatura (°C) | 1600°C (s kisikom), 1700°C (redukcijsko okolje) |
Vsebnost SiC | > 99,96 % |
Brezplačne Si vsebine | < 0,1 % |
Nasipna gostota | 2,60-2,70 g/cm3 |
Navidezna poroznost | < 16 % |
Trdnost stiskanja | > 600MPa |
Hladna upogibna trdnost | 80-90 MPa (20 °C) |
Trdnost pri vročem upogibanju | 90-100 MPa (1400 °C) |
Toplotna ekspanzija pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Toplotna prevodnost @1200°C | 23W/m•K |
Modul elastičnosti | 240 GPa |
Odpornost na toplotni udar | Izjemno dobro |
Prednosti VET Energy Advanced SiC konzolnega vesla za obdelavo rezin so:
-Visoka temperaturna stabilnost: uporabna v okoljih nad 1600°C;
- Nizek koeficient toplotnega raztezanja: ohranja dimenzijsko stabilnost, kar zmanjšuje tveganje zvijanja rezin;
-Visoka čistost: manjše tveganje za onesnaženje s kovino;
-Kemična inertnost: odporen proti koroziji, primeren za različna plinska okolja;
- Visoka trdnost in trdota: odporen proti obrabi, dolga življenjska doba;
-Dobra toplotna prevodnost: pomaga pri enakomernem segrevanju rezin.