Ako je uvedené vyššie, je to typické
Prvá polovica:
▪ Vyhrievacie teleso (vykurovacia špirála):
umiestnené okolo rúry pece, zvyčajne vyrobené z odporových drôtov, používané na ohrev vnútra rúry pece.
▪ Kremenná trubica:
Jadro horúcej oxidačnej pece vyrobené z vysoko čistého kremeňa, ktorý odoláva vysokým teplotám a zostáva chemicky inertný.
▪ Prívod plynu:
Nachádza sa na hornej alebo bočnej strane rúry pece a používa sa na prepravu kyslíka alebo iných plynov do vnútra rúry pece.
▪ SS príruba:
komponenty, ktoré spájajú kremenné trubice a plynové vedenia, zabezpečujúce tesnosť a stabilitu spojenia.
▪ Potrubie na prívod plynu:
Rúry, ktoré spájajú MFC s portom dodávky plynu na prepravu plynu.
▪ MFC (regulátor hmotnostného toku):
Zariadenie, ktoré riadi prietok plynu vo vnútri kremennej trubice, aby presne regulovalo množstvo požadovaného plynu.
▪ Vetranie:
Používa sa na odvetrávanie výfukových plynov z vnútra rúry pece von zo zariadenia.
Spodná časť:
▪ Silikónové doštičky v držiaku:
Kremíkové doštičky sú umiestnené v špeciálnom držiaku, aby sa zabezpečilo rovnomerné teplo počas oxidácie.
▪ Držiak oblátky:
Používa sa na držanie kremíkového plátku a zabezpečenie toho, aby kremíkový plátok zostal počas procesu stabilný.
▪ Podstavec:
Štruktúra, ktorá drží držiak silikónového plátku, zvyčajne vyrobený z materiálu odolného voči vysokej teplote.
▪ Výťah:
Používa sa na zdvíhanie držiakov doštičiek do a z kremenných trubíc na automatické vkladanie a vyberanie kremíkových plátkov.
▪ Robot na prenos oblátok:
umiestnený na boku zariadenia rúry pece, slúži na automatické vybratie kremíkového plátku zo škatule a jeho umiestnenie do rúry pece alebo na jeho vybratie po spracovaní.
▪ Kazetový skladovací karusel:
Kazetový skladovací karusel sa používa na uloženie škatule obsahujúcej kremíkové doštičky a možno ho otáčať pre prístup robota.
▪ Oblátková kazeta:
wafer kazeta sa používa na skladovanie a prenos kremíkových doštičiek, ktoré sa majú spracovať.
Čas odoslania: 22. apríla 2024