Ako je uvedené vyššie, je to typické
Prvá polovica:
Vyhrievacie teleso (vykurovacia špirála): umiestnené okolo rúry pece, zvyčajne vyrobené z odporových drôtov, používané na ohrev vnútra rúry pece.
Kremenná trubica: Jadro horúcej oxidačnej pece vyrobené z vysoko čistého kremeňa, ktorý odoláva vysokým teplotám a zostáva chemicky inertný.
Prívod plynu: Nachádza sa v hornej alebo bočnej časti rúry pece a používa sa na prepravu kyslíka alebo iných plynov do vnútra rúry pece.
SS príruba: komponenty, ktoré spájajú kremenné rúrky a plynové vedenia, zabezpečujúce tesnosť a stabilitu spojenia.
Vedenie prívodu plynu: Rúry, ktoré spájajú MFC s portom dodávky plynu na prepravu plynu.
MFC (Mass Flow Controller) : Zariadenie, ktoré riadi prietok plynu vo vnútri kremennej trubice, aby presne regulovalo množstvo požadovaného plynu.
Vetranie: Používa sa na odvetrávanie výfukových plynov z vnútra rúry pece von zo zariadenia.
Spodná časť
Kremíkové doštičky v držiaku: Kremíkové doštičky sú umiestnené v špeciálnom držiaku, aby sa zabezpečilo rovnomerné teplo počas oxidácie.
Držiak plátku: Používa sa na držanie kremíkového plátku a zaistenie, že silikónový plátok zostane počas procesu stabilný.
Podstavec: Štruktúra, ktorá drží držiak silikónového plátku, zvyčajne vyrobený z materiálu odolného voči vysokej teplote.
Výťah: Používa sa na zdvíhanie držiakov doštičiek do a z kremenných trubíc na automatické nakladanie a vykladanie kremíkových plátkov.
Robot na prenos doštičiek: umiestnený na boku zariadenia rúry pece, používa sa na automatické vybratie kremíkovej dosky z krabice a jej umiestnenie do rúry pece alebo na jej odstránenie po spracovaní.
Kolotoč na uloženie kaziet: Kolotoč na uloženie kaziet sa používa na uloženie škatule obsahujúcej kremíkové doštičky a možno ho otáčať, aby sa k nemu dostal robot.
Oblátková kazeta: Oblátková kazeta sa používa na skladovanie a prenášanie kremíkových plátkov, ktoré sa majú spracovať.
Čas odoslania: 22. apríla 2024