Hlavné funkciečln z karbidu kremíkapodpera a kremenná podpera člna sú rovnaké.Loď z karbidu kremíkapodpora má vynikajúci výkon, ale vysokú cenu. Predstavuje alternatívny vzťah s podporou kremenného člna v zariadeniach na spracovanie batérií s náročnými pracovnými podmienkami (ako sú zariadenia LPCVD a zariadenia na difúziu bóru). V zariadeniach na spracovanie batérií s bežnými pracovnými podmienkami sa vďaka cenovým reláciám karbid kremíka a kremenný čln stávajú koexistujúcimi a konkurenčnými kategóriami.
① Substitučný vzťah v LPCVD a zariadení na difúziu bóru
Zariadenie LPCVD sa používa na proces oxidácie tunelovania batériových článkov a prípravy dopovanej polysilikónovej vrstvy. Pracovný princíp:
V atmosfére nízkeho tlaku v kombinácii s vhodnou teplotou sa dosiahne chemická reakcia a tvorba depozičného filmu na prípravu ultratenkej tunelovej oxidovej vrstvy a polysilikónového filmu. V procese tunelovej oxidácie a prípravy dopovanej polysilikónovej vrstvy má podpera lode vysokú pracovnú teplotu a na povrchu sa ukladá silikónový film. Koeficient tepelnej rozťažnosti kremeňa je úplne odlišný od koeficientu kremíka. Pri použití vo vyššie uvedenom procese je potrebné pravidelne moreť a odstraňovať kremík usadený na povrchu, aby sa zabránilo zlomeniu kremenného nosiča loďky v dôsledku tepelnej rozťažnosti a kontrakcie v dôsledku odlišného koeficientu tepelnej rozťažnosti v porovnaní s kremíkom. Vďaka častému moreniu a nízkej pevnosti pri vysokých teplotách má kremenný držiak člna krátku životnosť a je často vymieňaný v procese prípravy tunelovej oxidácie a dopovanej polysilikónovej vrstvy, čo výrazne zvyšuje výrobné náklady batériového článku. Koeficient expanziekarbid kremíkaje blízka kremíku. Integrovanýčln z karbidu kremíkadržiak nevyžaduje morenie v procese tunelovej oxidácie a prípravy dopovanej polysilikónovej vrstvy. Má vysokú pevnosť pri vysokých teplotách a dlhú životnosť. Je to dobrá alternatíva ku kremennému držiaku na čln.
Zariadenie na expanziu bóru sa používa hlavne na proces dopovania prvkov bóru na substráte kremíkového plátku typu N batériového článku na prípravu žiariča typu P na vytvorenie PN prechodu. Princíp činnosti spočíva v realizácii chemickej reakcie a tvorby molekulárneho depozičného filmu vo vysokoteplotnej atmosfére. Po vytvorení filmu môže byť difundovaný vysokoteplotným ohrevom, aby sa realizovala dopingová funkcia povrchu kremíkového plátku. Vďaka vysokej pracovnej teplote bórového expanzného zariadenia má kremenný držiak člna nízku pevnosť pri vysokej teplote a krátku životnosť v bórovom expanznom zariadení. Integrovanýčln z karbidu kremíkadržiak má vysokú pevnosť pri vysokej teplote a je dobrou alternatívou ku kremennému držiaku člnov v procese expanzie bóru.
② Substitučný vzťah v iných procesných zariadeniach
SiC podpery lodí majú úzku výrobnú kapacitu a vynikajúci výkon. Ich cena je vo všeobecnosti vyššia ako cena kremenných nosičov lodí. Vo všeobecných pracovných podmienkach zariadení na spracovanie buniek je rozdiel v životnosti medzi podperami lodí SiC a kremennými podperami lodí malý. Následní zákazníci porovnávajú a vyberajú si medzi cenou a výkonom na základe vlastných procesov a potrieb. SiC podpery lodí a kremenné podpery lodí sa stali koexistujúcimi a konkurencieschopnými. Hrubé ziskové rozpätie podpory lodí SiC je však v súčasnosti relatívne vysoké. S poklesom výrobných nákladov SiC nosičov lodí, ak predajná cena SiC nosičov lodí aktívne klesá, bude to tiež predstavovať väčšiu konkurencieschopnosť pre kremenné nosiče lodí.
Pomer využitia
Cestou bunkovej technológie je hlavne technológia PERC a technológia TOPCon. Trhový podiel technológie PERC je 88% a trhový podiel technológie TOPCon je 8,3%. Spoločný trhový podiel oboch je 96,30 %.
Ako je znázornené na obrázku nižšie:
V technológii PERC sú pre prednú difúziu fosforu a procesy žíhania potrebné podpery člnov. V technológii TOPCon sú potrebné podpery člnov pre prednú difúziu bóru, LPCVD, zadnú difúziu fosforu a procesy žíhania. V súčasnosti sa nosiče lodí z karbidu kremíka používajú najmä v procese LPCVD technológie TOPCon a overené je najmä ich použitie v procese difúzie bóru.
Obrázok Aplikácia podpier člnov v procese spracovania buniek
Poznámka: Po prednom a zadnom nátere technológií PERC a TOPCon sú tu ešte prepojenia ako sieťotlač, spekanie a testovanie a triedenie, ktoré nezahŕňajú použitie podpier lodí a nie sú uvedené na vyššie uvedenom obrázku.
Čas odoslania: 15. októbra 2024